판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269229

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 반도체 처리에 사용하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 광소시스트' 에 노출 되기 전 에 기판 에서 여분 의 먼지 와 입자 를 제거 할 수 있는 고급 표면 청소 기술 을 갖추고 있다. 이는 오염과 결함 형성의 가능성을 줄여 주며, 이는 성능 또는 제품 고장으로 이어질 수 있습니다. TEL Clean Track ACT 8은 고급 옵티컬 스테이트 프로파일러 (Optical State Profiler) 또는 OSP를 사용하여 기판의 상단 표면에서 하위 미크론 크기의 입자를 감지 할 수 있습니다. 감지되면 OSP는 자동으로 서피스 클리닝 매개변수를 조정하여 입자의 최적의 제거를 보장합니다. 그런 다음 DDI (Defect Density Imaging) 를 사용하여 확인할 수 있습니다. 이 정교 한 "테크놀로지 '는 더 많은 처리 를 위해 깨끗 한 기판 을 달성 하는 데 있어서 매우 정밀 하고 정확 한" 테크놀로지' 를 제공 한다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8에는 동기화 된 코팅 장치가 있으며, 전체 기판 전체에 균일 한 코팅이 가능합니다. 이 기계는 코팅 과정에서 일관된 기판 접촉을 제공하기 위해 정밀 웨이퍼 스테이지 포지셔닝 도구 (precision wafer stage positioning tools) 를 사용하여 포토 esist 증착의 최적의 균일성을 보장합니다. 또한, 이 자산은 새로운 자동 초점 모듈 (auto-focus module) 을 사용하여 검사 중 정렬 및 광학 이미지 획득의 정확성을 최대화합니다. 이 모듈은 이미지 품질 (Image Quality) 을 높일 뿐만 아니라, 웨이퍼의 결함을 보다 정확하게 평가하는 프로세스를 용이하게 합니다. Clean Track ACT 8에는 또한 ECDB (Integrated Exposure Condition Database) 가 포함되어 있어 각 작업의 특정 요구 사항에 따라 보다 많은 정도의 사용자 정의를 수행할 수 있습니다. 이 ECDB 는 각 "기판 '에 노출 조건 이 최적화 되어" 포토레지스트' 층 의 전반적 인 질 을 더욱 향상 시키는 데 도움 이 된다. 궁극적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 많은 고급 기능을 갖춘 정교한 포토 esist 모델입니다. 최첨단 표면 클리닝 기술, 정밀 웨이퍼 스테이징 (precision wafer staging), 혁신적인 자동 초점 장비, 통합 노출 조건 데이터베이스를 활용하는 이 시스템은 다양한 반도체 처리 애플리케이션에 적합합니다.