판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9241869

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 TEL Ltd에서 제조 한 Photoresist Equipment입니다. (도쿄 전자). 그것 은 직경 이 최대 8 "인치 '인" 웨이퍼' 를 에칭 하거나 코팅 하기 위하여 반도체 및 기타 관련 산업 에 사용 하도록 설계 되었다. 레이저 다이렉트 이미징 시스템을 사용하여 포토레스 코팅 웨이퍼에 정확하고 정확한 이미지를 제공합니다. 이 장치는 3 가지 필수 구성 요소 (스캔 헤드, 컨트롤 카드 및 활성 챔버) 로 구성됩니다. 스캔 헤드는 2 세트의 레이저 광을 사용하여 포토리스 스트 코팅 웨이퍼 (photoresist coated wafer) 의 영상을 수행합니다. 컨트롤 카드를 사용하면 스캔 헤드가 적절한 피치 간격 (pitch spacing) 과 해상도로 빔을 생성할 수 있습니다. 또한 디지털 회로 기판 (Digital Circuit Board) 과 수신기 (Receiver) 가 포함되어 있어 실시간으로 빔의 위치를 감지하여 필요한 경우 해상도를 조정합니다. 활성 챔버 (Active Chamber) 는 기계로부터의 웨이퍼의 로드 및 언로드 및 포토 esist의 활성화를 용이하게한다. 이 도구는 DSR (Dual State Resist) 기능으로 알려진 새로운 포토레스 에셋을 사용합니다. 이 기능을 사용하면 두 응용 프로그램 사이에 피쳐 너비를 조정하면서 두 가지 다른 유형의 포토레시스트 (photoresist) 를 동일한 웨이퍼 (wafer) 에 적용할 수 있습니다. photoresist 코팅 웨이퍼의 정확하고 신뢰할 수있는 이미징을 제공하기 위해 TEL ACT 8은 고급 고광학 전력 튜닝, 레이저 파장 유연성, 다중 레벨 중심 키랄성, 현장 튜닝 등 여러 가지 고급 기술 기능을 사용합니다. 그 에 더하여, "포토레시스트 '는 감도 가 높고" 임피던스' 조절 이 뛰어나서 "레이저 '광선 의 강도 가 변할 때 에도 정확 한 결과 를 가져온다. 이 모델에는 광범위한 자동 제어 장비 (Automatic Control Equipment) 가 있는데, 사용자는 버튼을 클릭하면 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 를 통해 검사된 매개변수 세트를 제출할 수 있습니다. 그런 다음, 이 시스템은 모든 관련 장치를 연결하고 프로세스 매개변수를 완전한 정확도로 지정합니다. 이 장치의 또 다른 중요한 측면은 안전하고 효율적인 SEH 운영 소프트웨어입니다. 이 소프트웨어는 PC를 통해 액세스할 수 있으므로 사용자는 시스템 또는 연결된 다른 장치와 통신할 수 있고, 공구 리콜 (Tool Recall) 을 위한 데이터를 저장하고, 원격으로 자산을 작동시킬 수 있습니다. 또한 SEH 작업 소프트웨어 (SEH operation software) 를 사용하면 모델 내에서 수행되는 모든 활동을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON ACT 8은 사용자에게 친숙한 환경 및 자동 유지 관리 기능을 제공하여 생산성을 높이고 노동/에너지 측면에서 비용을 절감할 수 있습니다.