판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9237166

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 IC (Integrated Circuit) 제조 장비 제조업체 인 TEL이 개발 한 포토 esist 장비입니다. TEL Clean Track ACT 8에는 4 점 접촉 시스템과 고성능 저각 청소 절차가 있습니다. 도쿄 전자 클린 트랙 액트 (TOKYO ELECTRON Clean Track ACT) 8은 최고 수준의 포토 리토 그래피 제작 제품을 유지하기 위해 깨끗한 기판 표면을 유지하면서 안정적이고 안정적인 저항 성장을 보장합니다. Clean Track ACT 8 장치는 매우 정확하고 고해상도 패턴을 제공하여 마이크로 프로세서 및 기타 IC 센서의 photolithography 계층을 개선하도록 설계되었습니다. 이를 위해 기계는 두 가지 주요 구성 요소 인 광 스테퍼 (optical stepper) 와 자외선 (UV) 광원을 사용합니다. 광학 스테퍼 (optical stepper) 는 두 개의 거울과 렌즈로 구성되며, 이 두 개의 미러 및 렌즈는 포토 esist가 기판에 배치되도록 원하는 패턴을 만듭니다. UV 광원은 기질의 균일 한 조명을 제공합니다. 이 도구는 낮은 각도 클리닝 (low angle cleaning) 절차를 제공하여 표면 오염 물질이 photolithography 레이어를 방해하지 않도록 합니다. 패턴화 레이어 (patterning layer) 가 형성되는 가장 중요한 단계에서도 서피스를 청소할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8의 낮은 각도 청소 절차는 입자, 흡착체 및 기타 결함을 유발할 수있는 다른 재료를 제거하는 데 도움이됩니다. TEL Clean Track ACT 8의 4 점 접촉 자산은 기판을 광학 스테퍼의 정밀 슬롯에 정렬합니다. 이 모델은 정밀 정렬 장비를 사용하여 광소시스트 필름 (photoresist film) 의 정확한 패턴을 위해 움직이는 광학 컴포넌트에 기판을 정확하게 정렬합니다. 이를 통해 필름이 기질에 균등하고 방사형으로 적용됩니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8의 프로세스 모니터링 및 제어 시스템은 모든 수준의 작업 및 매개 변수를 지속적으로 모니터링하므로 일관되고 반복 가능한 저항 두께를 보장합니다. 이를 통해 향상된 수익률과 결함이 없는 구성 결과를 얻을 수 있습니다. Clean Track ACT 8은 IC 제작을위한 강력한 포토 esist 증착 방법입니다. 기질 청결성을 유지하고 안정적이고 안정적인 저항성 성장을 보장하는 한편, 최소 결함으로 고해상도 (high resolution) 패턴을 제공합니다.