판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235479

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 반도체 포토 마스크 패턴 및 처리 응용 분야에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 로봇' 암 을 이용 하여 광저항 층 을 기판 표면 으로 정밀 하게 증착 시킨다. 이 기계는 표준 ACT 8과 ACT 8-XHD의 두 가지 구성으로 제공됩니다. ACT 8은 0.4 미크론의 더 높은 해상도를 가능하게하는 더 높은 해상도의 드롭릿 발전기와 통합되어 있습니다. 또한이 도구는 동시 증착을 위해 4 개의 디스펜스 헤드를 갖추고 있으며, 시간당 최소 200 개의 웨이퍼를 증착 할 수 있습니다. 이 에셋은 라이트파이프 (lightpipe) 모델로 설계되어 각 기판에 균일하게 노출되도록 합니다. 광관은 광학자를 노출시켜 강렬한 자외선 및 이미징 광원 (Imaging Light) 을 만들어 초고해상도 패턴을 만듭니다. 이 장비는 또한 재순환 및 필터 시스템 (filter system) 을 사용하여 폐기물 발생이 적은 포토 esist 솔루션을 효율적으로 분배합니다. ACT 8 (ACT 8) 은 감마 민감성 재료를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 박막 구조, 접점 및 선 밀도를 패턴화하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 본드 패드 (bondpad) 를 패턴화하고, 오버레이 프로세스를 수행하고, 기판의 뒷면을 패턴화할 수 있습니다. 또한이 기계는 INFINITY 포토 esist 관리 소프트웨어를 사용합니다. 이 소프트웨어는 솔루션 공급, 이미지 정렬, 해상도, 디스펜스 헤드 상태 등과 같은 관련 매개변수를 모니터링하는 데 사용됩니다. 각 기판에 적절한 노출을 보장하고, 공구에 차이가 있을 경우 경고 메시지 (alert message) 를 제공하는 데에도 사용됩니다. 전반적으로 TEL Clean Track ACT 8은 반도체 포토 마스크 패턴화 및 처리 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계된 고성능 포토 esist 자산입니다. 이 모델은 다양한 기판을 다룰 수 있으며, 많은 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 또한, 장비에는 INFINITY 포토레스 (photoresist) 관리 소프트웨어가 장착되어 있으며이 시스템의 정확하고 효율적인 작동이 가능합니다.