판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9165439

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 복잡한 구조와 선택적 에치 공정의 정확한 리소그래피를 가능하게하는 고성능 포토 esist 장비입니다. 포토리스 (photoresist) 공정의 결함 발생을 줄여 높은 수율 및 결함이 없는 표면을 보장하도록 설계되었습니다. TEL Clean Track ACT 8은 스캔 전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 디더링 및 고해상도 이미징을 사용하여 웨이퍼에 초 유한 패턴을 만듭니다. 이 시스템은 표준 양성 (Standard Positive) 및 음수 (Negative) 유형뿐만 아니라 새롭고 견고한 재료를 포함한 다양한 포토레스 (Photoresist) 솔루션과 호환됩니다. 향상된 포토레스 (photoresist) 해상도와 정확한 리소그래피 제조 공정의 조합으로 매우 정밀한 제품이 생성됩니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 (도쿄 일렉트로닉 클린 트랙 ACT 8) 에는 뛰어난 균일성과 결함의 최소한의 위험으로 고품질의 제품을 보장하도록 설계된 여러 가지 특수 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 고급 열 분배 장치 (Advanced Thermal Distribution Unit) 로 웨이퍼를 고르게 가열하는 특수 가열 웨이퍼 홀더가 포함됩니다. 기계는 또한 포토 esist에서 공기 포켓을 제거하기위한 3 단계 진공 퇴화 과정을 포함합니다. 또한 Clean Track ACT 8에는 결함을위한 웨이퍼를 스캔하는 자동 검사 기술이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 잠재적으로 문제가 있는 영역을 신속하게 파악할 수 있으며, 이를 통해 신속한 시정 작업을 수행할 수 있습니다. 그런 다음 결함이 없는 영역을 광학적으로 검사하여 필요한 정확성과 품질을 확인합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 8은 결함 속도가 최소화 된 복잡한 디자인의 정확한 리소그래피를 가능하게하는 강력한 포토 esist 도구입니다. 또한 여러 가지 기능을 통해 잠재적인 문제를 신속하고 정확하게 파악할 수 있으며, 높은 정확도와 균일성 (unifority) 을 보장합니다. 결함이 없는 표면으로, 일관성이 뛰어나며, 효율적이고 안정적인 구성 프로세스가 가능합니다.