판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9165437
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ID: 9165437
웨이퍼 크기: 8"
(4) Coater / (2) Developer system, 8"
Double block
IFB
(4) UNCs
Open cassette
CSB.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 TEL/TOKYO ELECTRON이 개발 한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 기판 표면 에서 회로 를 무늬 로 만드는 데 사용 되며, 반도체 및 기타 고급 전자 장치 의 제조 에 일반적 으로 사용 된다. Photoresist는 회로 기판 표면에서 복잡하고, 미세 해상도 패턴화 및 물리적/화학적 변화를 허용합니다. TEL Clean Track ACT 8은 레이저 다이렉트 이미징 및 정밀 사진 사진술과 같은 고급 기술과 고온 처리 기능을 결합한 포괄적 인 포토리스 (photoresist) 장치입니다. 이 기계는 해상도를 최소화하면서 photoresist 패턴을 전달할 수 있습니다. 또한 화학적 역류 (backflow) 를 줄이고 유해 물질 또는 원치 않는 물질의 증착을 최소화하는 고급 노즐 디자인이 특징입니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 적외선 크롬 기반 저항기 및 초고 진공 호환 폴리술폰 기반 저항을 포함한 다양한 유형의 광저항제를 지원할 수 있습니다. 이 도구는 고급 장치 레이아웃 (advanced device layout), 고밀도 통합 (high density integration), 다양한 지형적 피쳐의 사진주의 패턴화 및 에칭 (etching) 등 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 이 에셋은 뛰어난 프로세스 제어 기능과 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 모델 작동을 용이하게 합니다. 또한 고급 이미지 처리 장치 (advanced image processing unit) 와 포지션 피드백 제어 (position feedback control) 가 함께 제공되어 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. Clean Track ACT 8은 다양한 화학 제형과 호환되도록 설계되었습니다. 즉, 다양한 제품과 프로세스를 수용 할 수 있습니다. 안전 측면에서 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8에는 프로세스 위험 탐지 (Process Hazard Detection) 와 같은 TEL 독점 안전 기술이 장착되어 있어 재해 및 결과 비용의 가능성을 최소화합니다. 또한, 이 장비는 부품에 대한 전체 보호 범위 (예: 정전기로부터 민감한 부품을 보호하기위한 정적 감지 캐비닛 (Antistatic Detection Cabinet)) 를 갖습니다. 전반적으로 TEL Clean Track ACT 8은 포괄적이고 강력한 포토레지스트 (photoresist) 시스템으로, 광범위한 어플리케이션에서 최대의 패턴화 해상도와 효율성을 제공합니다. 안정성이 높고 탁월한 안전 (Safety) 기능을 제공하여 사용자가 직접 작동할 수 있도록 합니다.
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