판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9145931

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 8은 전자 부품 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 산업에서 사용하기 위해 패턴 화 된 웨이퍼를 만드는 데 사용됩니다. 고해상도 리소그래피 이미징 (lithography imaging) 을 통해 매우 뛰어난 정확도와 속도를 제공합니다. TEL Clean Track ACT 8은 특허를받은 고급 포토 esist를 사용하여 탁월한 정밀도로 매우 작은 구조를 생성합니다. 이 광전자는 얇고 균일 한 층의 웨이퍼 (wafer) 에 적용된 다음 자외선 (UV) 에 노출됩니다. 자외선 노출 (UV exposure) 은 포토 esist 내의 화학 성분을 활성화시켜 개발자 용액으로 씻으면 용해되지 않습니다. 노출되지 않은 영역은 용해성이 있으며, 패턴화 된 설계 만 남기고 개발자에 의해 제거됩니다. 이 장치에는 일련의 로봇 암을 통합하는 자체 포함 처리 플랫폼 (self-continued processing platform) 이 있습니다. 이러 한 "로봇 '팔 은" 웨이퍼' 를 정확 하게 배치 하고 정렬 할 수 있도록 정확 한 움직임 을 제공 한다. 이 기계 에는 또한 "스트레이 '입자 나 다른 오염 물질 과 같은 보이지 않는 결함 을 탐지 할 수 있는 고급" 이미징' 도구 가 장착 되어 있는데, 이것 은 최종 제품 에 좋지 않은 영향 을 미칠 수 있다. 자산은 사전 노출, 사후 이미지 처리, 레코딩 (burnish) 등 다양한 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. 사전 노출 (Pre-exposure) 은 청소와 베이킹을 통해 웨이퍼를 준비하는 데 사용되며, 이미지 촬영 후 패턴 설계를 검사하는 데 사용되며, 버니 쉬 (Burnish) 는 웨이퍼 표면에서 잔류 물을 청소하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8이 수행하는 고정밀 이미징은 제품 신뢰성 및 정확성 측면에서 높은 수율을 제공합니다. 이 모델을 사용하면 생산 프로세스 (Production Process) 를 완벽하게 제어할 수 있으므로 고수율 (High-Yield) 컴포넌트를 일관되게 생산할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 매우 유연하여 연구 개발 (Research and Development) 에서 대용량 (High-Volume) 생산에 이르기까지 다양한 생산 환경에 사용될 수 있습니다. 고품질 표준 (High Quality Standard) 을 유지하고 제조 비용 (Manufacturing) 을 최소화하고자 하는 기업에게는 뛰어난 선택입니다.