판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162692

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 반도체 웨이퍼 사진 분석과 같은 응용 분야를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 기존의 포토레스 및 SOLIDLINE PRECISION 프로세스를 개선 한 고급 디자인입니다. ACT 8 시스템은 프로세스 오류 및 오염이 감소하여 고해상도 리소그래피를 허용합니다. ACT 8 장치의 핵심에는 ECD (Electron Cyclotron Deposition) 분무제가 있으며, 이는 photoresist 레이어의 품질을 향상시키는 역할을합니다. "스퍼터 '과정 중 에" 에이전트' 가 사용 되어 결함 이 감소 되고 오염 가능성 이 최소화 된다. 이렇게 하면 포토레지스트 (photoresist) 레이어의 더 넓은 영역을 노출시켜 균일 한 두께 (thickness) 와 짝수 (even surface) 토폴로지를 보장할 수 있습니다. ACT 8 기계는 또한 포토 esist 화학을 개선하여 훨씬 더 강한 결합 강도와 향상된 코팅 능력을 제공합니다. 저분실 속도 (Lost Lost Rate) 와 수정 (Correction) 의 필요성이 감소하면 사진 해설과 관련하여 시간과 비용을 모두 절약할 수 있습니다. ACT 8은 ECD 스프레이 에이전트 외에도 TEL 특허 "필러 (pillar)" 기술을 사용하며, 이 기술은 포토 esist 재료를 보다 효과적으로 캡처하여 교정의 필요성을 줄이고 포토 esist 레이어를 통해 더 나은 균일성을 보장합니다. 또한, 공정 중 정전기 방전을 일으킬 수있는 입자의 수를 줄입니다. ACT 8 도구는 또한 향상된 결함 트랩핑과 더 깊은 결함이없는 영역을 제공합니다. 이는 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 중요한 피쳐의 품질을 향상시키는 한편, 쓰레기 (scum) 및 결함 관련 수익률 손실 가능성을 줄입니다. 마지막으로, ACT 8 자산은 전문가 소프트웨어 제품군을 사용하며, 이는 포토리스 (photoresist) 레이어의 동작을 분석하고 예측하고, 되돌릴 수 없게 되기 전에 잠재적인 문제를 감지하는 데 도움이됩니다. 이 소프트웨어는 또한 프로그래밍 시간을 줄여 효율적인 생산을 보장합니다. TEL Clean Track ACT 8은 개선 된 화학 물질 및 소프트웨어와 함께 개선 된 리소그래피 프로세스로 웨이퍼를 처리하는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다. 따라서 복잡한 사진 (photolithography) 프로세스가 필요한 모든 반도체 응용 프로그램에 이상적인 선택이됩니다.