판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162688

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 TEL이 제공하는 포토 esist 장비입니다. 독점적 인 Dry Scrub 기술을 사용하여 효율성과 정확성이 높은 개발 된 photoresist 잔기를 청소하고 제거합니다. 이 시스템은 고속 로터리 브러시 (rotary brush), 진공 추출 (vacuum extraction) 및 초음속 진동의 독특한 조합을 사용하여 기질에서 유기 잔기를 들어 올립니다. 이 장치는 균일성, 반복성, 정확성이 높은 한 패스에서 유기 잔기를 완전히 제거 할 수 있다고합니다. 이 기계는 Clean Track Scrubber와 Clean Track Vacuum Tool의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. Clean Track Scrubber는 중앙에 브러시 헤드가있는 원통형 스크러버 장치입니다. 브러시 헤드는 모터로 구동되어 시계 반대 방향으로 회전하고, 웨이퍼 표면을 긁고, 유기 잔류 입자를 제거합니다. 동시에, 초음속 진동이 웨이퍼 표면에 적용되어 스크러빙 (scrubbing) 과정을 더욱 강화하고 유기 잔기의 제거를 보장합니다. Clean Track Vacuum Asset은 스크러버가 생성 한 파편 입자를 추출하도록 설계되었습니다. 진공 챔버, 배기 팬 및 솔레노이드 밸브로 구성됩니다. 회전 브러시가 회전하면 입자가 웨이퍼 서피스에서 제거됩니다. 그런 다음 진공실은 배기 팬 (exhaust fan) 과 솔레노이드 밸브 (solenoid valve) 를 통해 모델로부터 포착 및 운송합니다. TEL Clean Track ACT 8은 자동차, 의료 및 반도체 산업의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 전문 등급 청소 성능을 제공합니다. 장비는 브러쉬 속도를 조정하고 균일성, 반복성 및 정확성을 향상시킵니다. 또한 프로세스가 빠르고 효율적으로 수행되면서 다운타임이 줄어듭니다. 또한, 이 시스템은 엄격한 환경 규정을 준수하면서 유해 화학 물질의 필요성을 최소화하기 위해 설계된 높은 수준의 안전 (Safety) 및 환경 (Environmental) 성능을 제공합니다.