판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7 #293656056

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7은 고급 메모리 및 고밀도 장치 제조를 위해 특별히 설계된 모듈식 플랫폼으로 구성된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 다중 레벨 리소그래피 (lithography) 를 위한 정확하고 빠른 병렬 패턴화에 사용할 수 있는 최고 수준의 자동화 및 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. TEL Clean Track ACT 7은 TEL이 개발 한 혁신적인 저항 노출 기술인 광 광 소수점 처리 (Optical Point Processing) 기반 고도로 전문화 된 장비입니다. 이 기술은 단일 헤드 액정 (LC) 투영 장치를 사용하여 노출된 저항 필름에서 1 미크론 정도의 작은 조명 영역에 미세 조정 된 서브 미크론 패턴 데이터를 투사합니다. 이를 통해 매우 정확한 이미지 생성과 깨끗한 저항 패턴화가 가능합니다. ACT 7 머신은 또한 정밀 포토 마스크 체인저 (photomask changer) 및 자동 슬릿 스캔 (slit-scan) 억제 및 이미지 품질을 손상시키지 않고 복잡한 슬릿 스캐닝을 통해 매우 정확한 이미지 생성을 유지할 수있는 노출 헤드 (exposure head) 를 포함한 여러 자동화 기능을 제공합니다. 이 도구 는 또한 여러 가지 "레지스트 '재료 를 동일 한" 웨이퍼' 에 통합 하는 능력 을 가지고 있어서, 매우 다양 한 공정 에 적합 하다. 또한 ACT 7은 PEB (pre-exposure bake), PEB (post-exposure bake) 및 PDB (post-developmentbake) 와 같은 광범위한 프로세스를 지원합니다. 고급 리소그래피 소프트웨어는 또한 자동 광 근접 수정 (OPC) 및 고급 사전/사후 패턴 프로세스를 포함한 다양한 이미지 형성 모드를 지원합니다. 요약하자면, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7은 단일 헤드 액정 투영 모델, 자동 슬릿 스캔 억제 및 노출 헤드, 정밀 포토마스크 체인저, 고급 메모리에 대한 정확하고 깨끗한 패턴화를 지원하는 고밀도 장치 제조. PEB와 PDB와 같은 다양한 프로세스에 적합하며, 다양한 [이미지] 구성 모드를 지원합니다.