판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9412474

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 섬세하고 민감한 전자 재료에 대한 정확한 단계별 프로세스를 수행하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 특허받은 페이스 다운 정밀 트랙 (face-down precision track) 기술을 사용하여 다양한 정밀 레시피로 웨이퍼를 처리합니다. 이 시스템은 한 번에 최대 12 개의 웨이퍼, 최대 2 개의 웨이퍼 크기 분배 밸브, 2 개의 클리닝 바, 2 개의 주사기 펌프 밸브, 비전 카세트 로더 및 무선 주파수 (RF) 모듈을 수용 할 수있는 메인 트랙으로 구성됩니다. 비전 카세트 로더 (vision cassette loader) 를 사용하면 각 웨이퍼를 트랙의 적절한 위치로 자동으로 식별하고 전송할 수 있습니다. 또한 크기와 방향에 따라 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. TEL Clean Track ACT 12는 특수 포토 esist 응용 프로그램 머신을 사용하여 완성 된 웨이퍼에서 깨끗하고 일관된 표면 마무리를 달성합니다. 포토 esist (photoresist) 는 다른 다양한 특수 응용 분야를 추가하여 디핑 (dipping) 과 스핀 코팅 (spin coating) 의 두 가지 주요 방법을 사용하여 적용됩니다. 정밀도 트랙 (precision track) 은 깨끗하고 파편이없는 환경에서 포토 레스트 (photoresist) 의 정확하고 반복 가능한 적용을 가능하게하며, 이는 완성 된 웨이퍼의 잠재적 오염을 방지합니다. 이 기계는 또한 두 개의 별도 클리닝 바 (photoresist application side 용) 와 처리된 웨이퍼의 상하 (top and bottom) 표면에 대한 하나를 갖추고 있습니다. 다른 "클리닝 '제 를 사용 하여 원치 않는 입자 나 잔기 를 철저 히 완전 히 제거 할 수 있다. 마지막 "린스 '는 또한 모든 감광술사 들 이 완전 히 제거 되고," 웨이퍼' 는 오염 물질 이 없도록 도움 을 주는 역할 을 할 수 있다. 이 도구에는 전용 RF 모듈이 장착되어 있는데, 이 RF 모듈 (photoresist) 은 연산자가 photoresist의 노출 설정을 조정하여 photoresist의 정확한 적용을 보장합니다. 이 기능을 사용하면 노출 설정 (Exposure Settings) 을 세밀하게 조정하여 각 웨이퍼의 정확한 요구 사항을 충족시켜 높은 정확도와 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 빠르고 간편한 유지 관리를 위해 설계되었으며, 쉽고 빠르게 웨이퍼 홀더 (wafer holder), 포토레스 밸브 (photoresist valves) 및 기타 부품을 청소하고 교체할 수 있습니다. 이를 통해 TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12의 성능을 최적화하여 다운타임을 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다.