판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9280162
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ID: 9280162
Coater / (2) Developer system, 12"
CSB
PRB1
IFB
Chemical box
Thermo controller
(2) Fire system boxes
Left to right
Carrier type: FOUP
Loading configuration: 3 FOUP's
(3) Main controllers
Main system:
Main frame with system controller
Carrier station:
Type: FOUP Cassette
(3) Cassettes
Unicassette system
Coater unit:
(6) Dispense nozzles with temperature controlled lines
RDS Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Programmable side rinse:
(1-6) PR Nozzles
(6) Bottles (1 Bottle / 1 Nozzle)
CCSS Thinner supply
AMC Suck-back valve
Direct drain
I/F Wafer stage type: NIKON SF130
Chemical cabinet: Solvent, HMDS, DEV
Developer unit:
H-Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
2-Points for back side rinse
Developer system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Developer temperature control system
Direct drain
Adhesion units (ADH):
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Local HMDS supply
(5) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(4) Chill Plates (CPL)
(2) Precision Chilling Hot Plates (PHP)
(2) TRS
Transfer Chill Plate (TCP)
Wafer Edge Exposure (WEE):
UV Sensor: i-Line
SHINWA Series ESA-8 Temperature and humidity controller
Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 사용자가 다양한 기판에서 깨끗하고 고해상도 패턴을 만들 수 있도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 광전자 (Photoresist) 는 빛에 민감하고 많은 산업 응용 프로그램 (예: 집적 회로 제조) 에 사용되어 기판에 전기 연결 (electrical connection) 과 구조를 생성하는 재료의 한 유형입니다. ACT 12는 초점, 조명, 스테이지 제어 시스템의 조합을 사용하여 최대 12 미크론의 해상도 범위에서 패턴을 생성합니다. ACT 12 시스템의 주요 구성 요소는 고해상도 광학 현미경입니다. 기존의 광학 현미경보다 더 정확한 이미징 (Imaging) 이 가능하며, 더 큰 시야를 제공합니다. 그런 다음 특수 조명 장치 (Special Illumination Unit) 는 패턴 처리에 대한 정확한 조명을 제공하여 전용 스테이지 컨트롤러와 함께 사용할 때 최대 30 단계의 프로세스 제어를 허용합니다. 이 구성 요소 조합을 통해 다양한 기판에서 미니어처 회로 (miniature circuit) 요소를 정확하게 패턴화할 수 있으며, 해상도는 최대 12 미크론입니다. 액트 12 (ACT 12) 에는 광학 현미경 및 조명기 외에도 포토 esist 제어 도구가 통합되어 있습니다. 이 에셋은 최적의 성능을 위해 photoresist 모델의 다양한 매개변수를 정확하게 조정하는 데 도움이 됩니다. 또한 ACT 12에는 부식 내성 스테인레스 스틸 보울 (stainless bowl) 이 포함되어 있으며, 포토 esist 적용 과정 이전의 기판을 장착하는 데 이상적입니다. ACT 12 장비의 또 다른 주목할만한 특징은 광범위한 환경 조건에서 작동하는 능력입니다. 부식 내성 구조로, 이 시스템은 습하거나 부식 성 환경, 극한 온도에서 사용하기에 적합합니다. 이것은 민감하거나 위험한 위치에서 기질에 구조를 생성 할 때 특히 유익합니다. TEL 클린 트랙 ACT 12 (TEL Clean Track ACT 12) 는 다양한 기판에서 미니어처 회로 요소를 패턴화하기위한 매개변수의 정확한 제어를 제공하는 최첨단 포토 esist 장치입니다. 액트 12 (ACT 12) 는 광학 현미경, 조명 단계 및 통합 포토리스 스틱 제어 기계를 사용하여 최대 12 미크론의 해상도 범위에서 깨끗하고 고해상도 패턴을 생성합니다. 또한, 다양한 위험 환경에서 작동할 수 있을 정도로 견고합니다.
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