판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266471

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 우수한 반도체 장치 처리 및 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 고급 사진 방지 (Photo Resist) 기술과 프로세스를 완벽하게 자동화하며 비용 효율적이며 신뢰할 수 있는 패키지로 제공하는 하이엔드 (High-End) 장비입니다. 이 시스템은 통합 레이저 광학이있는 레이저 스캐너 장치 (laser scanner unit) 와 재활용 가능한 진공 척 (vacuum chuck) 테이블을 포함한 주요 구성 요소로 구성됩니다. 레이저 스캐너 장치 (laser scanner unit) 는 시야의 데이터를 마스크하기 위해 정확한 빔 정렬 및 반복성을 허용하는 반면, 진공 척 테이블 (vacuum chuck table) 은 신뢰할 수있는 기판 코팅, 방사선 팽창 제어 및 입자 분산과 같은 전위 결함을 제거합니다. TEL Clean Track ACT 12에는 성능 향상, 비용 절감, 신속한 열 노출 및 RTED (Rapid Thermal Development) 장치 등 유지 관리 단순화를 위한 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 기계는 비필수성 (non-essential) 노출 부품을 제거하고, 기판 노출과 재료 노출의 공동 정렬을 통해 재료 소비 및 공정 시간을 크게 감소시킵니다. 이 도구는 또한 고출력 초저음 레이저 (ultra-violet laser) 와 함께 제공되어 더 큰 차원과 더 높은 밀도의 패턴을 빠르게 노출 할 수 있습니다. 또한, 정확한 위치 지정을위한 고정밀 기판 정렬 에셋, 패턴 균일성을 향상시키는 에지 노출 다중 반사 모델, 프로세스 변동 방지를위한 린스 앤 스프레이 카세트 클리너 (Rinse-and-Spray Cassette Cleaner) 를 지원합니다. 또한, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12에는 전체 자동화 장비가 장착되어 있으며, 이 장비는 여러 웨이퍼 크기와 직경이 줄어든 발 뒤꿈치 효과 시스템 기판 필드를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 레시피를 사용하여 입자 분산 (particle distersion) 과 레이저 웨이버 (laser wavering) 를 보완함으로써 높은 수준의 프로세스 균일성을 제공합니다. 전반적으로 클린 트랙 액트 12 (Clean Track ACT 12) 는 가장 까다로운 반도체 장치 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 포토레스 머신입니다. 그 특징과 안정성은 비용 효율적이고 안정적인 방식으로 생산량 (production throughput) 을 극대화하는 데 적합합니다. 또한, 이 툴은 높은 수준의 프로세스 균일성과 성능을 제공하며, 전체 자동화 (full-automation) 자산은 단순하고 효율적인 작업 소프트웨어를 제공합니다.