판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265670

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 반도체 산업을 위해 제작 된 포토 esist 장비입니다. 석판화 응용 프로그램에 더 깨끗한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 시스템은 고유한 멀티 스테이지 클리닝 설계를 사용하여 최대 청결을 제공합니다. 장치 는 "노즐 '과" 펌프' 의 배열 을 사용 하여 기판 의 표면 으로부터 광미술사 를 깨끗 이 한다. 클리닝의 경우, 노즐은 정밀도 슬릿 노즐 (slit-nozzle) 디자인을 사용하여 최적의 클리닝 흐름을 생성할 수 있습니다. 슬릿 노즐 (slit nozzle) 은 큰 입자를 작은 조각으로 나누어 쉽게 제거 할 수있는 난류 공기 흐름을 만듭니다. 또한, 노즐은 표면에서 입자를 효율적으로 추출하기 위해 흡입 채널 (suctioning channel) 배열을 만들 수도 있습니다. 청소 작업은 고압 가스를 주입하는 여분의 노즐 (nozzle) 을 추가함으로써 더욱 향상되며, 이는 접착된 입자와 캡슐화 된 거품을 분해하는 역할을합니다. 이 장치 가 사용 하는 "펌프 '들 은" 탱크' 내부 에 진공 진공 을 만드는 횡경막 설계 이다. 이 진공을 통해 사용자는 다른 응용 프로그램에 대한 클리닝 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 작은 "펌프 '에서 가장 큰" 펌프' 에 이르는 세 가지 크기 의 "펌프 '는 여러 가지 의 압력 과 부피 의 조합 을 수용 한다. 각 "펌프 '에는 또한 압력 이 항상 최적 범위 내 에 있게 하는 효율적 인 압력 조절 장치 가 포함 된다. 또한 TEL Clean Track ACT 12에는 수돗물에서 화학 물질, 먼지 및 기타 불순물을 제거하여 탱크가 깨끗해질 수있는 정수 도구 (water purification tool) 가 장착되어 있습니다. 이것 은 "포토레지스트 '의 오염 을 감소 시킬 뿐 아니라 청소 작업 의 성능 도 향상 시킨다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 또한 시각 검사 자산을 사용하여 기판 표면의 품질을 모니터링합니다. 이 모델은 청소 과정 전, 중, 후에 기판의 이미지를 캡처하는 장치 내에 배치된 3 개의 카메라로 구성됩니다. 이렇게 하면 photoresist 가 효과적으로 제거되고, 표면은 여전히 부드럽고, 결함이 없습니다. 전반적으로, 클린 트랙 ACT 12 (Clean Track ACT 12) 는 리토 그래피 프로세스에 대한 더 나은 클리닝 성능과 더 큰 제어를 제공하는 고급의 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '의 효율적 인 청소" 디자인' 과 견고 한 정수 및 시각 검사 "시스템 '은 성공적 인 청소 실 작업 을 보장 해 준다.