판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265669

텔/도쿄 일렉트로닉 클린 트랙 액트 12 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12) 는 대규모 전자 조립에 사용되는 마스크 제작 프로세스의 효율성을 향상시키기 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 고급 설계는 스프레이 (spray), 개발 (development), 린스 (rinse) 시스템 등 다양한 패턴 클리닝 기술을 활용하여 최고 품질의 클리닝 결과를 보장합니다. 이 시스템은 탁월한 청소 성능을 제공하며 시간당 최대 1,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TEL Clean Track ACT 12는 이동 가능한 클리닝 암과 고정 암으로 구성된 듀얼 암 (Dual-arm) 디자인을 사용하여 클리닝 프로세스를 최적화합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '의 전체 표면 에 균일 한 결과 를 얻기 위해 용액 이 균일 하게 분배 된다. 이 장치에는 패턴 정확도를 최적화하고 기존 스프레이어의 면적의 최대 3 배를 커버하는 6 노즐 스프레이어가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 또한 일관되고 재현 가능한 결과를 보장하기 위해 가압 챔버를 포함하는 포괄적 인 개발 모듈을 갖추고 있습니다. 이 모듈은 솔루션 증발 및 드라이브를 줄여, 정확하고 안정적인 개발/에칭 프로세스를 제공합니다. 이 기계는 또한 린스 기술을 사용하여 교차 오염을 최소화하고 성능을 향상시킵니다. 또한 Clean Track ACT 12는 클리닝 암 (Cleaning arm) 과 웨이퍼 (wafer) 사이의 거리를 모니터링하고 조정하는 기능, 클리닝 솔루션의 구성을 제어하는 기능 등 다양한 사용자 친화적 옵션을 제공합니다. 이 툴은 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 최소한의 교육을 받은 운영자가 신속하게 설치, 구성할 수 있습니다. 또한, 자산은 유지 보수 요구를 최소화하도록 설계되었습니다. 풀 사이즈 팬 필터 모델 (full-size fan filter model) 은 청소 또는 교체가 잦지 않고도 챔버 전체에 깨끗한 공기가 순환되도록 보장합니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 효율적인 마스크 제작 프로세스를 위해 설계된 신뢰성 있고 자동화 된 포토 esist 장비를 제공합니다. 고급 설계는 무늬 (patterned) 클리닝 기술과 사용자 친화적 (user-friendly) 옵션을 결합하여 운영자가 클리닝 프로세스를 빠르고 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. 따라서 유지 관리 요구 사항이 최소화되어 최고 수준의 성능이 보장됩니다.