판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259917
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ID: 9259917
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Resist coater / Developer system, 12"
Single block
Track 1:
PI Coater cup
(2) Developer cups
ADH
Track 2:
Resist reduction:
Developer: H Nozzle
Resist pump:
SHV 15 ml (Line 1)
RDS 10 ml (Line 2~6)
Oven configuration:
(2) PHP
(3) CPL
(4) Standard LHP
(2) High EXH LHP
Track chemicals:
Resist supply:
Gallon bottle
Coat bottle
Thinner: OK73
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 웨이퍼 및 마스크 제조에 사용하도록 설계된 포토 esist 처리 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 성능, 안정적인 결과, 그리고 산업 석판화 작업을위한 소형 설치 공간을 제공합니다. 이 장치는 뛰어난 화질과 해상도로 포토레시스트의 직접 이미징을위한 자외선 레이저 스캐너 (Ultraviolet Laser Scanner) 를 갖추고 있습니다. 레이저는 최소 저항 재 잔기 또는 에너지 손실로 포토 esist에서 정확한 노출 패턴을 만듭니다. 고급 스캐너 설계를 통해 고속 프로세싱과 손쉬운 작동이 가능합니다. 또한 자동화된 프로세스 제어를 통해 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 레이저 강도 제어, 온도 및 동작 제어, 저항 패턴, 저항 두께 제어 및 프로세스 추적 기능을 갖추고 있습니다. 통합된 툴은 각 프로세스를 동시에 추적하여 여러 노출 프로세스를 수행할 수 있습니다. TEL Clean Track ACT 12는 성능 향상 외에도 환경 공간도 개선되었습니다. 이 자산은 수질 (water) 과 전력 소비를 줄이는 데 최적화된 설계를 사용하며, 더 적은 수의 부품으로 유지 보수가 향상되었습니다. 또한 더 조용한 작업이 특징입니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 대규모 생산에서 소규모 생산 실행에 이르는 정밀 제어 및 성능이 필요한 웨이퍼 및 마스크 제작 작업에 이상적인 선택입니다. 이 모델은 작은 설치 공간에서 탁월한 성능을 제공하여 산업용 석판화 (lithography) 작업을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
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