판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9227624

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK 12 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 12) 는 웨이퍼 표면에 박막 패턴을 만들어 사진 해설에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 노출 과정에서 웨이퍼 (wafer) 표면의 오염을 방지하는 전용 클린 트랙 (clean track) 을 사용하며, 다른 기존 시스템에 비해 향상된 프로세스 기능을 제공합니다. 이 장치는 더 높은 해상도 패턴과 더 나은 반복성을 달성하도록 설계되었습니다. 그것 은 진공기 와 "베이킹 '공정 을 가지고 있는데, 이것 은 광물질 을 건조 시키고 더 나은" 패턴' 의 정확도 를 만들어내기 위해 능동적 으로 작용 한다. 이 도구에는 웨이퍼 프리 클리닝 전용 클렌징 트랙과 노출 용 메인 트랙 (main track) 이 장착되어 있습니다. 사전 청소 트랙에는 산화 공정 (oxidation process) 이 포함되어 있어 웨이퍼 표면을 정제하고 photomachining의 필름 품질을 향상시킵니다. 사전 청소는 또한 공기 먼지 입자 또는 다른 표면 오염 물질로 인한 오염을 제거합니다. 메인 트랙 (Main Track) 은 안정적인 저전압 전원 공급 장치를 제공하도록 설계되어, 노출 프로세스의 높은 전력 안정성을 보장합니다. 정밀도가 높은 광학 자산이 메인 트랙 (main track) 에 통합되어 노출 과정에서 정확성과 안정성을 보장합니다. 이 모델에는 다양한 프로그램 작업 주기 (operation cycle) 가 있으며, 사용자의 요구 사항에 따라 사용자정의할 수 있습니다. 또한 안전 기능 (Safety Features) 이 내장되어 있어 사고를 예방하고 장비 손상을 방지할 수 있습니다. 사용자 친화적 디스플레이 화면 (User Friendly Display Screen) 을 통해 사용자가 장비의 모든 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 알고리즘 기반 최적화 장치 (algorithm driven optimization unit) 를 가지고 있으며, 이를 통해 사용자는 노출 시간과 프로세스 조건을 최적화하여 원하는 패턴 정확도와 프로세스 수율을 달성할 수 있습니다. 또한 노출 시 만들어진 박막 (thin film) 의 균일성을 보장하고 더 나은 프로세스 기능을 제공합니다. 기계 는 또한 "아세칭 ', 증착," 스트리핑' 장치 와 같은 다른 "시스템 '과 상호 작용 하여 처리 속도 와 패턴 품질 을 향상 시킬 수 있다. 전반적으로 TEL Clean Track ACT 12는 높은 수준의 정확성과 반복 성을 달성 할 수있는 강력한 포토 esist 도구입니다. 정밀한 패턴 결과를 달성하기 위해 맞춤 된 많은 기능이 있으며, 완성 된 웨이퍼 (wafer) 의 우수한 수율을 보장합니다. 이 자산은 안정적이고 효율적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 즉, 고품질 제품을 생산하고 폐기물을 줄일 수 있습니다.