판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9197300
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ID: 9197300
빈티지: 2006
Single block system, 12"
P/N: Cassette block(CSB)
Model no: ACT12-300
TTC Series
Front opening unified pod
Non copper
Installed components:
(2) YASKAWA Servopack P/N: CACR-02-TE2K
(2) YASKAWA Servopack P/N: SGDA-01AP
(2) PANASONIC Servo P/N: DV83050HA503
PANASONIC PLC P/N: MSD261Y22
NSK Servo driver P/N: ESA-J1003AF9-20
ASYST P/N: Advantag gateway
TEL P/N: TIF-40S1, Model 877
CE Marked
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 장비는 선도적인 에지 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 획기적인 포토 esist 시스템입니다. Clean Track ACT (청소 트랙 법) 는 가장 극단적인 석판화 요구 사항에 대한 중요한 청소 프로세스와 솔루션을 제공하는 포괄적인 통합 장치입니다. TEL Clean Track ACT 12 머신은 결정 론적 전송을 사용하여 포토 esist의 활성 레이어에 대한 깨끗한 환경을 만듭니다. 이것 은 사진술사 가 "웨이퍼 '에 균일 하게 퇴적 되도록 하는데, 이것 은 석판 인쇄 과정 에 중요 하다. 첨단 에어록 (Airlock) 기술은 오염 및 후처리 효과에 대한 중요한 보호 계층을 제공합니다. 이 도구의 통합 된 다중 클리닝 및 소프트 베이크 프로세스는 리소그래피 (lithography) 의 최적의 조건을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 또한 입자를 최소화하고 접촉 오염을 줄이고 웨이퍼 청소를 제거하는 캡-웨이퍼 전송 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델의 하이엔드 자동화 (High-End Automation) 는 효율적이고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되어 처리량 향상을 위한 프로세스 솔루션의 무중단 흐름을 보장합니다. Clean Track ACT 12는 고급 사전 처리를 위한 다기능 플랫폼을 제공합니다. EUV 및 ArF 리소그래피와 같은 여러 리소그래피 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 통합 플랫폼은 다양한 웨이퍼 크기와 구성을 위한 사전 베이크 (pre-bake) 기능과 클리닝 기능을 모두 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 리소그래피를위한 다목적 플랫폼입니다. 기판 전체에 걸쳐 뛰어난 균일성을 제공하여 정확성 보장
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