판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9190227
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9190227
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
(2) Coaters / (4) Developers system, 8"
In-line
Right to left
Loading configuration: 3 Foup type
Main controller: 2nd Controller
Main frame with system controller
CSB
PRB1
PRB2
IFB
Power box
T&H Controller
Chemical box
Thermo controller
(2) Mass flow controllers
Carrier station: 8" Foup type
(3) Cassettes / (25) Slots
Coater unit (2-1, 2-2 Module):
(4) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RRC Pump
PR Suck-back valve: (8) Air operation suck-back valves
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Programmable side rinse
(4) PR Nozzles
(8) Bottles
Thinner supply:
CCSS Supply
Local canister tank function
Photo resist temperature control system
Drain: Direct drain
Developer unit (3-1, 3-2, 3-3, 3-4):
(2) H Nozzles for each unit
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse on each unit
Developer temperature control system
I/F Wafer stage type: NIKON (S204)
Adhesion unit:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor in system
HMDS Supply: Local bottle
(8) Low temperature hot plates (LHP)
WEE Unit (Wafer edge exposure)
Type: DUV (UV254)
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling hot plates (CHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
SHU: (2) Shuttles
Chemical cabinet 1:
Solvent
Developer
HMDS Chemical cabinet
Temperature & humidity controller: Shinwa series (ESA-8)
Temperature control unit(TCU): TEL
AC Power box:
AC200 / 220V
Full-load current: 300A
Power: AC 208V, 3 Phase, 300A (Maximum)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 시장에서 사용할 수있는 최신의 최첨단 포토 esist 장비입니다. 클린 룸 환경에서 초저입자 성능을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 입자 청결을 보장하는 독점 CTAC (Clean Track Auto Clean) 프로세스와 유지 보수가 용이한 고급 하향식 스캔 도구를 포함한 고유한 기술 조합을 사용합니다. CTAC (Clean Track Auto Clean) 프로세스는 최대 입자 자유 환경을 보장하기 위해 두 개의 순차 단계를 사용합니다. 첫째, 별도의 활성화 된 2 개의 브러시 모듈을 사용하여 모든 표면 윤곽선에서 입자를 분리합니다. 이러 한 강모 는 "부품 '이나 장비 의 모양 과 크기 에 정확 하게 맞추어 모든 오염 물질 을 효과적 으로 제거 한다. 둘째, 높은 공기 흐름 장치를 사용하여 표면에서 분리 된 입자를 추출합니다. 높은 공기 흐름은 표면에 반 정적 (anti-static) 전하를 적용하여 입자가없는 환경을 더욱 개선합니다. 이 기계는 또한 독점 스캔 기술을 사용하여 나머지 입자를 감지합니다. 스캐닝 도구는 16 채널 센서 어레이를 사용하여 1 미크론 정도의 작은 입자를 감지합니다. "센서 '는 크기, 모양, 밀도 등 입자 특성 을 측정 하고 비교 하여 입자 수 를 정확 하게 식별 할 수 있게 해 준다. 이 스캐닝 프로세스를 통해 공구는 업계 표준 (Industry Standard) 이하의 입자 수준을 감지하고 제거할 수 있습니다. TEL Clean Track ACT 12 자산은 또한 고급 온도, 습도 및 오존 모니터링 기술을 사용하여 클린 룸 환경을 일관되게 유지합니다. 온도/습도 센서는 필요에 따라 모델을 조정하기 위해 환경을 모니터링합니다. 또한, 오존 센서는 오존 생성 입자의 존재를 감지하고, 그에 따라 장비의 오존 생산을 조정하는 데 사용된다. 시스템은 사용자에게 완전한 제어 (control) 기능을 제공하여 클리닝 프로세스를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 또한, 먼지 (dust) 및 정적 방지 (anti-static) 시스템 모두 고급 통계 분석 도구를 제공하여 사용자는 청소 임계값을 모니터링하고 입자 자유 최적 성능을 보장 할 수 있습니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 고도의 포토 esist 유닛으로, 사용자가 클린 룸 환경에서 최고 수준의 깨끗함을 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 고급 기술 (advanced technologies) 의 조합을 사용하여 입자 자유 (consticle free) 성능을 유지하면서 클리닝 프로세스를 완벽하게 제어합니다.
아직 리뷰가 없습니다