판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9138481

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
ID: 9138481
웨이퍼 크기: 12"
(2) Coaters / (2) Developers system, 12" IFB Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 높은 수준의 정밀도가 필요한 집적 회로 및 응용 프로그램 처리를 위해 설계된 혁신적인 포토 esist 장비입니다. TEL Clean Track ACT 12 시스템은 화학 전처리 모듈, 고체 입자를 제거하는 고출력 세탁 장치, 이미지 선명도를 극대화하기 위해 개발 된 특허 감광 필름으로 구성됩니다. 화학 전처리 모듈 (chemical pre-treature module) 은 기질에 존재할 수있는 모든 오염 잔기를 무력화시키고, 포토 esist의 증착을위한 균질 염기를 생성하도록 설계된다. 고출력 세탁기 (high-powered washing machine) 는 기질 표면에서 고체 입자를 정확하게 제거하고 필름에 의해 실수로 흡수 된 입자를 제거하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12에 사용 된 특허 감광 필름은 일본 연구소 인 RIKEN과 함께 개발 된 독특한 증착물입니다. 이 필름은 이미지의 해상도를 극대화하고 에칭 (etching) 및 리소그래피 (lithography) 프로세스 동안 정밀도를 높입니다. Clean Track ACT 12에는 최고 수준의 정밀도로 수행 할 수있는 몇 가지 기능이 있습니다. 이 도구에 사용되는 클리닝 기술은 입자와 입자를 제거하여 이미지 선명도를 저하시킬 수 있습니다 (영문). 첨단 포토레시스트 에셋 (photoresist asset) 은 회로 설계자가 원래 디자인으로 최소한의 변경으로 개념에서 실현으로 빠르게 이동할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 고출력 난방 (HPT) 요소를 활용하여 포토레시스트를 빠르고 균일하게 치료하여 빠르고 정확한 응용프로그램을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12에서 제공하는 주요 장점은 0.18 미크론 이하의 기능을 지속적으로 에치 할 수 있습니다. 이 높은 충실도 장비는 회로 밀도 증가를 위해 향상된 트랜지스터 및 저항 밀도를 제공합니다. 이 "시스템 '이 생산 하는 작지만 매우 정확 한 특징 들 은 원자 수준 의 정밀도 에 가까운" 프로그램' 에 특히 적합 하다. 또한 TEL Clean Track ACT 12는 다양한 에칭 및 리소그래피 기술과 호환됩니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 최고 수준의 정밀도로 복잡한 회로를 제작 할 수있는 뛰어난 포토 esist 장치입니다. 첨단 청소 기술, 고도로 정확한 포토리스 필름 (photoresist film) 및 강력한 히터 (heater) 의 독특한 조합은 빠른 프로토 타입과 더 빠른 출시 시간을 가능하게합니다. 클린 트랙 액트 (Clean Track ACT) 12 (Clean Track ACT 12) 는 고급 집적 회로의 제작에서 품질과 정밀도에 대한 수요가 지속적으로 증가하도록 설계된 놀랍도록 향상된 포토레지스트 머신입니다.
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