판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106173
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ID: 9106173
웨이퍼 크기: 8"
Process Block Robotic Arms, 8"
PRA X-Axis Assy:
CT2985-469941-W2 - X Axis Assy (ACT 12), Common
CT2910-200980-13 - X Base (300)
CT2910-401477-11 - X Side Plate (Qty 2)
CT2910-401979-11 - Bracket, Motor (Qty 3)
CT2910-408714-11 - Sensor Bracket (Qty 3)
CT2910-405673-11 - X3 Plate
CT2910-405674-11 - X3 Plate
CT2910-405672-11 - Guide Block (Qty 3)
CT2910-403428-11 - Belt Block (Qty 3)
CT2910-401512-11 - Belt Block (Qty 3)
CT2910-405691-11 - Sensor Shutter (Qty 3)
CT2910-405675-12 - X1 Block
CT2910-405676-12 - X1 Block
CT2910-405677-12 - X2 Block (Qty 2)
CT2910-403433-12 - X2 Block (Qty 2)
CT2910-403533-12 - X3 Block (Qty 2)
CT2910-307254-11 - X2 Plate
CT2910-307255-11 - X2 Plate
CT2910-402169-11 - X2 Plate
CT2910-402170-11 - Plate
CT2910-400001-13 - WAF Sensor Cover
CT2910-400743-11 - WAF Sensor Bracket
CT2910-403435-11 - C Cover (1)
CT2910-490117-11 - C Cover (2)
CT2910-401535-11 - Nut Plate (Qty 2)
CT2910-401550-11 - Cover Bracket (Qty 4)
CT2910-403488-11 - X Cover (Qty 2)
CT2910-403436-11 - X Cover (Qty 4)
CT2910-303738-11 - X Cover
CT2910-303739-11 - X Cover (Qty 20)
CT2910-303740-11 - X Cover
CT2902-400038-11 - Pulley (3-20) (Qty 3)
CT2902-400061-11 - LM Guide (Qty 6)
CT2910-310059-11 - Bracket (Qty 2)
CT2910-407741-11 - Cable Rail (Qty 3)
CT2910-408715-11 - Stopper Block (Qty 12)
CT2910-410980-11 - Cover, Belt (Qty 3)
CT023-001515-1 - Belt, Timing 1290-3GT-6 (Qty 3)
CT023-001777-1 - Belt, Timing 192-3GT-6 (Qty 3)
CT044-001407-1 - Support, PCB SA6-43 (Qty 4)
CT044-001058-1 - Support, PCB SA6-20 (Qty 8)
CT044-000044-1 - Support, PCB EM-3 (Qty 2)
CT2986-402862-W2 - 12" PRA X Axis Assy:
CT2986-401770-11 - 12" X1 Motor Assy
CT2986-401771-11 - 12" X2 Motor Assy
CT2986-401772-11 - 12" X3 Motor Assy
CT2986-401773-11 - 12" X Home Sensor Assy
CT2986-427122-11 - Sensor, 12 Light #01 680 (Assy)
CT2986-427123-11 - Sensor, 12 Detect #01 620 (Assy)
CT2986-401776-11 - 12" WAF Signal Cable
CT2985-442959-W1 - Base (ACT 12) Assy, PRA 8":
CT2910-320885-11 - Plate, Upper
CT2910-321411-11 - Cover, X
CT2910-316994-11 - Frame
CT2910-316995-11 - Plate, Upper
CT2910-316996-11 - Plate, Lower
PRA Z Axis Assy:
CT2985-201532-W3 - 300Z Axis Assy
CT2910-301544-11 - Top Plate
CT2910-100241-12 - Z Main Base
CT2910-100242-12 - Z Main Base
CT2910-100248-12 - Z Side Base
CT2910-100249-12 - Z Side Base
CT2910-100250-13 - Z Side Base
CT2910-100251-12 - Z Side Base
CT2910-301646-12 - Outer Cover (Qty 2)
CT2910-100243-12 - Bottom Base
CT2910-301655-11 - Z Support
CT2910-308116-11 - Z Support
CT2910-401047-11 - Position Pin (Qty 4)
CT2910-401662-11 - Stopper
CT2910-490025-12 - Stopper (Z) (Qty 4)
CT2910-490150-12 - Support Arm
CT2910-301503-12 - Support Arm
CT2910-301522-11 - Support Plate
CT2910-301523-12 - Support Plate
CT2910-400677-11 - Support Bar
CT2910-301524-11 - Guide Block
CT2910-301525-11 - Guide Block
CT2910-301540-12 - Fan Box (Qty 2)
CT2910-401593-11 - Commutation Plate (Qty 2)
CT2910-401590-11 - Belt Block
CT2910-401591-11 - Belt Block
CT2910-313316-11 - Duct Plate
CT2910-313317-11 - Duct Plate
CT2910-406173-11 - Cable Clamp (Qty 2)
CT2910-401594-11 - Belt Clamp (Qty 2)
CT2910-401595-11 - Belt Clamp (Qty 6)
CT2910-401033-11 - Motor Base
CT2910-401034-11 - Block
CT2910-300965-11 - Motor Block
CT2902-400010-11 - Z Motor Pulley
CT2910-300970-11 - Fan Bracket (Qty 4)
CT2910-401299-11 - Cable Clamp (Qty 10)
CT2910-401753-11 - X Board Bracket
CT2910-401592-11 - Sensor Bracket
CT2910-490152-11 - Shtr. Z (Qty 2)
CT2910-301654-11 - Cable Guide (Qty 2)
CT2910-401663-11 - Cable Bracket
CT2910-401687-12 - Flat Rail (5-15)
CT2910-401664-11 - Cover Bracket (Qty 6)
CT2910-401665-11 - Cover Bracket (Qty 2)
CT2910-401668-12 - Cover Support (Qty 4)
CT2910-301657-11 - Cover Bracket (Qty 2)
CT2910-301658-11 - Cover Bracket
CT2910-404714-11 - Position Pin (Qty 2)
CT018-001971-1 - Linear Way LWHS20C2R1420B-LR (Qty 2)
CT023-000961-1 - Belt, Timing 3000-5GT-30 Open
CT023-001873-1 - Belt, Timing 456-3GT-9 (Qty 2)
CT023-001872-1 - Belt PE-100-2 45*3100C (Qty 3)
CT044-001340-1 - Support, PCB FB6-10 (Qty 14)
CT2986-402862-W2 - 12" PRA X Axis Assy:
CT2986-402847-11 - 12" X Fan Assy (Qty 4)
CT2986-401792-11 - 12" X Fan Cable (Qty 4)
CT2981-600409-11 - PRA X Board
CT2986-401737-W2 - 12" PRA Z Axis Assy:
CT2986-401743-11 - 12" Z Motor Assy
CT2986-401832-11 - 12" Brake Signal Cable
CT2986-401744-11 - 12" Z Home Signal Cable
CT2986-401745-11 - 12" Z Fan1 Assy (Qty 6)
CT2986-401746-11 - 12" Z Fan2 Assy (Qty 4)
CT2986-401747-11 - 12" Z Fan Harness1
CT2986-401748-11 - 12" Z Fan Harness2
CT2986-401749-11 - 12" Z Fan Harness3
CT2986-401750-11 - 12" Z Fan Harness4
CT2986-408336-11 - 12" Brake Off Harness
CT2981-600410-11 - PRA Z Board
CT2981-600333-11 - Sensor Brd. L Assy
PRA Z Cover Assy:
CT2985-401531-W2 - Z Cover Assy
CT2910-415404-12 - Cover, Z (Qty 3)
CT2910-301668-11 - Z Cover
CT2910-301669-11 - Z Cover (Qty 2)
CT2910-301670-11 - Z Cover
CT2910-301671-11 - Z Cover
CT2910-301672-11 - Z Cover
CT2910-301673-11 - Z Cover
CT2910-301674-12 - Z Cover
CT2910-301675-11 - Z Cover
CT2910-301676-11 - Z Cover
CT2910-301699-11 - Z Cover (Qty 2)
CT026-100972-1 - Grommet C-30-NG-79-A-1
CT2987-459316-W1 - Sensor Assy, Z Axis (ACT 12):
CT2985-489564-W1 - Fixture Assy, Z Axis (ACT12)
CT2986-467717-W1 - Sensor, PRA Belt 12 #01 (Qty 2)
PRA Theta Axis Assy:
CT2985-403791-W1 - 12 Theta Axis Assy
CT2910-301722-11 - Motor Base
CT2910-402634-13 - Theta Stopper
CT2910-402635-11 - Stopper (Qty 2)
CT2910-403661-11 - Stopper Base
CT2910-401712-11 - Sensor Bracket
CT2910-300200-13 - Board Bracket
CT2910-301726-11 - Cover
CT2910-301727-11 - Cover
CT2910-301724-11 - Cover Bracket
CT2910-309253-11 - Cover Bracket
CT2910-301737-11 - Cover Bracket
CT2910-301738-11 - Cover Bracket
CT2910-302033-11 - Support Bracket (Qty 2)
CT2910-400199-11 - Holder Plate
CT022-000903-1 - Bearing 5002DDUU76 LG2L (299880001011
CT2985-403808-W1 - 12 PRA 4C Base Assy:
CT2910-100477-13 - 12 PRA-HP Base (4C)
CT2910-300496-11 - Support Bar
PRA Z, Theta Cable Assy:
CT2987-400810-W2 - 12 Z Cable Assy1
CT2986-401738-11 - 12" PRA Z Axis Cable Assy1
CT2985-401549-W1 - Z Cable Assy (25L)
CT2987-400811-W2 - 12 Z Cable Assy2:
CT2986-401740-11 - 12" PRA Z Axis Cable Assy2
CT2985-401549-W1 - Z Cable Assy (25L)
CT2987-400812-W1 - 12 Theta Cable Assy:
CT2986-401742-11 - 12" PRA Theta Axis Cable Assy
CT2985-401570-W2 - Theta Cable Assy
PRA Theta Axis Cable Assy:
CT2986-401739-W1 - 12" PRA Theta Axis Assy
CT2986-402876-14 - 12" Th. Motor Assy
CT2985-401759-11 - 12" Th. Fan Cable1
CT2986-401760-11 - 12" Th. Fan Cable2
CT2986-401761-11 - 12" Th. Fan Cable3
CT2986-401762-11 - 12" Th. Fan Cable4
CT2986-401763-12 - 12" Th. Fan Assy (Qty 4)
CT2986-401764-11 - 12" Th. Home Signal Cable
CT2986-401765-11 - 12" Brake Off Cable2
CT2981-600333-11 - Sensor Brd. L Assy
CT2981-600408-12 - PRA Base Board
PRA Pincette Assy:
CT2985-432270-W1 - Fork (ACT 12), PRA 8"
CT2910-207761-11 - Fork(8"), ACT12
CT2985-40770-W1 WAF Block Assy:
CT2904-390016-11 - 8 Inch Standard Block (299880028811
CT020-002765-1 - Bind Screw M2.6*5 SUS304 (Qty 2)
Missing main controller.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 최적화 된 기능 크기의 최첨단 포토 esist 장비입니다. 포토리스 필름에서 높은 감도와 안정성을 가능하게 하는 고급 액티브 클램핑 기술 (Active Clamping Technology) 을 사용합니다. TEL의 TEL Clean Track ACT 12는 결함률이 매우 낮은 포토 esist 및 기타 기판을 정확하고 일관되게 처리 할 수있는 최적화 된 시스템을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 장치는 사전 프로세싱에서 웨이퍼 처리/저항 코팅까지 전체 포토 esist 프로세스를 제어하고 제어합니다. 최상위 기능에는 설계를 웨이퍼에 정확하고 정확하게 인쇄하는 독점적 인 레이저 패턴 (laser-patterning) 머신이 포함됩니다. 또한 고유한 레이저 정렬 도구는 가변 원본 디자인을 사용하여 일관된 성능을 보장합니다. 에셋에는 또한 코팅 후 와퍼를 부드럽게 세척하기위한 포스트 패턴 링 IC 클린 모듈이 포함되어 있습니다. 이 모델은 터불런스 (turbulence) 및 패턴 솔루션의 잘못 정렬을 방지하는 나노 (nano) 유체 트랙 장비와 균일하고 깨끗한 가장자리를 제공하는 고급 가변 에지 비드 (edge-bead) 제거를 방지하기 위해 설계되었습니다. 또한 Clean Track ACT 12는 웨이퍼의 결함을 파악하고 손상 없이 정확하게 제거하는 지능형 추적 시스템을 통합합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 또한 ATRS (Auto-Tracking Reticle Alignment Unit) 를 통합하여 대형 유리 시트에서도 빠르고 신뢰할 수있는 패턴 정확성을 제공합니다. 이 기계는 또한 저항의 품질을 모니터링하여 더 깊은 불완전성을 식별하는 기능을 포함합니다. 이 도구는 품질 보증 프로그램 (Quality Assurance Program) 과 통합되어 기판 상태를 지속적으로 모니터링하여 생산되는 저항에서 일관되고 우수한 성능을 보장합니다. TEL Clean Track ACT 12 포토 esist 자산은 인체 공학적 편의를 염두에두고 설계되었습니다. 이 (가) 설계를 통해 복잡한 정렬 설정을 조정하지 않고도 사용자 친화적인 작업에 적합합니다. 자동화된 웨이퍼 처리 모델 (automated wafer handling model) 은 다양한 입력 패턴을 사용하여 사소한 결함을 로컬 정리할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 매우 경쟁력있는 가격대에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 장비는 모든 반도체 프로세스 어플리케이션에 이상적입니다. 고급 반도체 장치를 최고 정확도 수준으로 처리 할 수 있습니다. Clean Track ACT 12 포토레지스트 (photoresist) 시스템을 설치하면 모든 비즈니스는 가장 빠르고, 안전하며, 가장 안정적인 환경에서 최고의 노치 품질의 제품을 제공할 수 있습니다.
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