판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106048

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK 12는 기판의 정확하고 정확한 패턴을 가능하게하는 포토 esist 장비입니다. 시스템은 컴팩트하며 쉽고 간단한 작동을 제공합니다. 여기에는 개선 된 여과 장치 (anti-particle machine) 가 포함되어 챔버 내부의 깨끗한 환경을 유지할 수 있습니다. 기판 홀더를 자동으로 조정할 수 있으며, 이 도구를 사용하면 더 많은 운영 유연성을 얻을 수 있습니다. 에셋에는 다중 영역 (Multi-Zone) 비접촉식 측정 모델이 있는데, 이를 통해 기판을 정확하게 측정하여 마스크와 올바르게 정렬할 수 있습니다. 또한 "에너지 '수준 과 용량 이 넓은 고도 의 용량 조절 장비 를 갖추고 있어서, 최적 의 결과 를 거두었다. 이 시스템은 다양한 응용 프로그램을 위해 모든 크기의 기판을 패턴화 (pattern) 할 수 있습니다. 노출 장치에는 전용 스캐닝 기술이있는 870nm ArF 레이저 조명기 (Laser Illuminator) 가 포함되어 있어 원하는 패턴을 위해 안정적이고 균일 한 빛의 빔을 보장합니다. 이 기계에는 최대 해상도 512x512dpi의 고해상도 이미징 도구가 있습니다. 이 이미지 자산은 10 비트가 잘 유지되며 모든 이미지는 매우 정확하고 선명하게 캡처됩니다. TEL Clean Track ACT 12에는 Ion 샤워 청소 및 Indexing 클리닝과 같은 여러 청소 기능도 포함되어 있습니다. 이온 샤워 (Ion shower) 청소는 기판을 이온으로 폭격하는 반면, 인덱싱 (Indexing) 청소는 자기 기반 브러시를 사용하여 영역을 청소하는 비접촉식 방법입니다. 이 모델에는 백업 펌프 장비 (back-up pump equipment) 가 있으며, 이 장치는 필요한 환경 조건을 유지하기위한 2 차 펌프 시스템입니다. 이 기계에는 인터록 (Interlock) 도구, 정적 (Anti-Static) 자산과 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 또한 사용자 인터페이스를 통해 액세스할 수 있는 이더넷 (Ethernet) 또는 RS232 포트를 통한 원격 모니터링 및 제어를 허용합니다. 따라서 매개 변수를 빠르고 쉽게 조정하고 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다.