판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106026

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK 12는 최고 수준의 장치 청결 및 구운 제품 이미지를 생산하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 사용자는 반도체 웨이퍼, 유연한 인쇄 회로, 테이프 캐리어, 광학 필름 등 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 사진, 폴리 이마이드, E-beam과 같은 다양한 etch back 등급을 사용할 수 있습니다. 이 장치의 ACT 12 헤드는 1 단계 사전 처리 헤드로, 자동 입자 제거 기계로 작동합니다. 초음파 진동 (Ultrasonic Vibration), 열 파열 (Thermal Burst), 제트 클리닝 (Jet Cleaning) 을 포함한 여러 기술이 장착되어 있으며 직선 기판 및 각도 기판을 처리하는 데 사용할 수 있습니다. 이 도구는 통합 냉각 및 난방 기술로 프로세스 온도를 추적, 제어할 수도 있습니다. 이 자산은 자동 입자 제거 (automated particle removal) 외에도 다중 방향 스프레이 (multi-directional spray) 를 제공하며, 전체 기판 표면을 균일하게 덮고 포토 esist를 균일하게 적용합니다. 이것은 기판에 균일 한 두께와 반복 가능한 패턴을 보장합니다. 이 모델에는 스펀스 스테인레스 스틸 카세트 (Spun- Stainless Steel Cassette) 가 장착되어 있어 장기적인 사용을 보장하고 고급 마스크 패턴을 신속하게 제공합니다. TEL Clean Track ACT 12는 높은 생산성과 낮은 소유 비용을 제공하도록 설계되었습니다. 24 행 구성으로 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 장비는 또한 높은 정확도 감지 및 제어 시스템 (Control System) 으로 설계되어 패턴 구조의 정확한 배치와 균일성을 보장합니다. 또한 처리 시작 전에 각 기판을 확인할 수있는 디지털 카메라 시스템 (digital camera system) 이 장착되어 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 장치에는 자동 바코드 배포 도구가 포함 된 통합 트랙 및 로드/언로드 머신이 있습니다. 또한 청소실 환경에 적합한 컴팩트 한 디자인이 있습니다. 이 자산에는 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 프로세스 조건을 관리하고 조정할 수 있는 중앙 제어 본문 (Central Control Body) 이 제공됩니다. 또한 원격 제어 및 분석을위한 자체 진단 및 분석 모델을 갖추고 있습니다.