판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106025

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 12는 DUV 반도체 기판의 표면에 패턴을 에치하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광저항제는 리소그래피에서 마스크 (mask) 나 레티클 (reticle) 에서 기질로 패턴을 전달하는 데 사용되는 빛에 민감한 화학 물질입니다. 이 시스템은 기판에 에칭될 패턴을 정확하게 정의하는 데 도움이 됩니다. TEL Clean Track ACT 12는 Corona Igniter, Resolution Enhancement Technology (RET) 및 Step and Repeat Unit (SRU) 의 세 가지 모듈로 구성됩니다. Corona Igniter는 프로세스의 첫 번째 단계입니다. 이그니터 (Igniter) 는 기판 표면에 개시제 (initiator) 라는 특수 화학 물질을 도입하여, 보호용 코트를 형성하기 위해 기판의 포토 esist를 활성화시킨다. 이 보호 코트는 자외선 (UV) 에 노출 된 후 광 소증의 정확한 패턴을 가능하게합니다. 그런 다음 RET 모듈은 활성화 된 photoresist 기판을 다음 단계로 가져옵니다. 이 모듈은 매우 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 사용하여 해상도가 매우 높은 포토레지스트 (photoresist) 레이어에서 세밀하고 정확한 패턴을 만듭니다. 이 목표를 달성하기 위해 컨택트 레벨 이미징, 축소, 도트 감소와 같은 여러 기술이 결합되어 있습니다. SRU는 TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12의 세 번째이자 마지막 모듈입니다. 이 모듈은 RET 모듈에 의해 정의 된 포토리스 (photoresist) 패턴을 사용하여 마스크나 레티클로 전송합니다. 그런 다음, 기판으로 패턴을 옮기기 위해 스테퍼에 여러 번 노출됩니다. 스테퍼 (stepper) 는 레티클을 정확한 간격으로 정확한 패턴으로 이동하여 각 위치가 올바르게 노출되도록 하는 장치입니다. Clean Track ACT 12는 매우 안정적이고 정확한 포토 esist 단위입니다. 코로나 이그니터 (Corona Igniter), RET 모듈 및 SRU의 조합으로, 높은 해상도와 정확도로 기판에 에칭되는 패턴을 정확하고 세밀하게 정의 할 수 있습니다. 이 기계 는 많은 산업 에 사용 되며, 사용 할 수 있는 가장 발전 된 광자연기계 (photoresist system) 중 하나 로 여겨진다.