판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9037669

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
ID: 9037669
웨이퍼 크기: 12"
Coater / Developer system, 12" Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 반도체 장치 및 전자 부품 제조를 포함하여 다양한 분야에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 입자 및 화학 오염을 최소화하면서 높은 수준의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Clean Track ACT 12의 중심에는 고급 광학 시스템이 있으며, 이 시스템은 고급 광학 광원을 사용하여 장파 (long wave) 또는 단파 (short wave) 에너지 펄스를 생성합니다. 그런 다음, 이 빛 을 일련의 거울 로 향하여, 그 광선 을 정해진 포토레지스트 (photoresist) 표적 (target) 으로 정확 하게 이동 시킨다. 광학 광원은 photoresist 처리 요구 사항을 충족하도록 최적화되었습니다. 전체 목표 표면에 걸쳐 짝수 에너지 분포를 확보하기 위해 레이저-라이트 광섬유 번들 (laser-light fiber-optic bundle) 을 사용하여 표적에 에너지를 집중하고 전달합니다. 그런 다음, "레이저 '" 에너지' 를 특정 한 광전자 가 사용 되도록 적절 한 수준 으로 조정 한다. 광학 광원 외에도 TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12에는 광선 방향을 정확하게 제어하기위한 고속 액추에이터 장치가 있습니다. 이 액추에이터 머신 (actuator machine) 은 빔의 각도를 정확하게 조정하고 처리 중에 포토레시스트가 제대로 노출되는지 확인할 수 있습니다. ACT 12는 또한 고해상도 이미지 개선 및 고대비 이미징을 포함한 혁신적인 광학 기술을 갖추고 있습니다. 이 도구는 백그라운드 노이즈를 최소화하면서 최대 대비 및 이미지 충실도 (fidelity) 를 제공하도록 최적화되었습니다. 클린 트랙 ACT 12 (Clean Track ACT 12) 는 개선 된 포토 esist 처리 외에도 입자 및 화학 오염의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 이를 위해 자산에는 잠재적인 오염물질 (오염 물질) 을 줄이고 피해가 발생하지 않도록 개선된 정화 (purification) 모델이 장착되어 있다. 전체 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 고급 프로세스 제어 기술과 완전히 통합되어 있습니다. 이 기술 은 "포토레시스트 '가 광선 에 적당 히 노출 되도록 도와 주며, 그 과정 은 정해진 시간 내 에 수행 된다. TEL Clean Track ACT 12 장비는 고품질 반도체 장치 및 전자 부품을 만드는 데 사용할 수있는 강력한 포토레스 처리 시스템입니다. 제조 공정 (manufacturing process) 에 사용될 때 정확성과 정확도를 제공하며, 생산 과정에서 문제를 일으킬 수있는 화학 물질과 입자의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다.
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