판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293616493

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ID: 293616493
빈티지: 2003
Coater / Developer system 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 고정밀 다중 프로세스 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 소프트웨어 제어 환경 (software-controlled environment) 을 갖추고 있어 정확도가 높은 고급 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 적용할 수 있습니다. 이는 고유한 광 제어 아키텍처를 활용하여 매우 정확한 노출, 정렬, 치수, 마스크 측정 프로세스를 보장합니다. 이 장치의 고급 광학 제어 시스템 (Optical Control System) 을 통해 어플리케이션 프로세스를 매우 정확하게 완료할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 두께가 다른 유연 기판에 대한 포토레스 처리 (photoresist process) 를 높은 정확도로 완료 할 수 있습니다. 이를 통해 더 복잡하고 세밀한 구조를 만들 수 있습니다. 또한, 기계에는 단일 머신에서 다른 기판 유형을 처리 할 수있는 정적 스위치 도구 (static switch tool) 가 장착되어 있습니다. TEL Clean Track ACT 12는 챔버 제어 기능을 통해 매우 안정적이고 재생성되도록 설계되었습니다. 이 자산은 빠른 복구 속도와 폐쇄 루프 (closed-loop) 제어를 통해 일관된 결과를 보장합니다. 또한, 이 모델은 다운타임을 최소화하기 위해 자가 청소 (self-cleaning) 방식이므로 유지 보수 요구 사항이 낮게 설계되었습니다. 이 장비는 또한 스핀 코팅 (spin coating), 핫 플레이트 노출 (hot-plate exposure) 및 레이저 노출과 같은 다양한 포토 esist 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 매우 민감한 초음파 커플 링 시스템 (Ultrasonic Coupling System) 이 특징이며, 매우 작은 차원의 변화를 감지하고 정확하게 측정하여 정확도와 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 또한 고유한 2축 이미지 정렬 장치를 사용하여 이미지를 정확하게 정렬할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12는 정밀 전자 제품 및 반도체 산업과 같은 다양한 제조 응용 프로그램 및 산업에 적합합니다. 다양한 기판 및 표면 유형에서 고정밀 (high-precision) 프로세스를 수행할 수 있으며, 이를 통해 많은 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램에 필수적인 도구가 됩니다. 또한, 보호 주택 (protective housing) 에 의해 공정의 효율이 증가하여, 공정에 사용 된 에너지와 화학 물질을 보존합니다. 이를 통해 에너지, 재료의 비용 절감, 배송 효율성 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다.
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