판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #9378266
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TEL/TOKYO ELECTRON CL1300은 마이크로 제조 및 나노 분류 응용 분야에 널리 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 환경 이미징 노출 도구 (Environmental Imaging Exposure Tool) 를 사용하여 비교적 높은 정확도로 더 빠르고, 더 효율적이며, 정밀도가 높은 직접 패턴 전송을 통해 전통적인 사진 촬영 프로세스를 강화합니다. TEL CL1300 포토레스 장치 (photoresist unit) 의 특징은 프로토 타입에서 소형 시리즈 생산에 이르기까지 빠른 프로토 타입에 이상적인 선택입니다. 고해상도 폴리스칸 스캐너 (Poliscan Scanner) 가 장착되어 있으며, 높은 정확도로 작은 크기의 복잡한 패턴을 재현 할 수 있습니다. 최첨단 빔 이미지 제어 알고리즘은 신호 왜곡 없이 고른 (even) 노출 필드와 매우 정확한 이미지를 제공합니다. 또한 사용자는 NKS (Neutron Spectral Weighting) 및 DWS (Dose Weighted Spectral) 기능에 모두 액세스하여 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CL1300 포토 esist 도구는 반도체 클린 룸 환경에서 빠르고 신뢰할 수있는 트랙 처리를 제공합니다. 자산의 동적 추적 기술 (Dynamic Tracking Technology) 은 향상된 생산 효율성을 제공하는 반면, 빠르고 정확한 노출 시간은 Tight Tolerance 제품의 생산에서 높은 반복성을 보장합니다. 또한, 대부분의 photoresist 재료와도 호환되며, 프로세스에서 복잡성을 제거합니다. 통합 된 고급 독점 소프트웨어 인 TEL ComponentsTM "Litho Assistan" 은 CL1300을 나노 및 마이크로 제작 어플리케이션을위한 뛰어난 선택으로 만듭니다. 이 강력한 리소그래피 지향 소프트웨어는 사용자가 패턴, 호, 커브를 정확하게 설계할 수 있는 기능을 제공할 뿐만 아니라, 사진 (photolithography) 프로세스의 모든 매개변수를 제어하고 조절할 수 있도록 합니다. 또한, 사용자는 이 소프트웨어를 통해 데이터를 저장, 관리, 카탈로그화할 수 있으므로, 프로세스를 더욱 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON CL1300 포토레스 모델은 터치스크린 콘솔, 직관적인 메뉴 방식 탐색, 종합적인 진단 기능 덕분에 사용자에게 인체공학적 경험을 제공하도록 설계되었습니다. 연산자는 재사용 가능한 레시피 라이브러리에 액세스하여 설정 (setup) 시간을 줄이고 생산 프로세스를 간소화할 수도 있습니다. 전반적으로, TEL CL1300은 사용자에게 효율성, 정확성 향상, 고속 프로토 타입 기능을 추가함으로써 나노 (Nano) 및 마이크로 (Micro) 제작 어플리케이션을 위한 완벽한 선택이 가능한 혁신적인 포토 esist 장비입니다.
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