판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607974
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Coaters
Without excimer UVI.
TEL/TOKYO ELECTRON CL1300은 Semiconductor 및 Thin Film deposition/etch, LED manufacturing 및 Surface Mount Technology 등 다양한 응용 분야에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 고급 옵티컬 이미징 (Optical Imaging) 단계가 장착되어 있어 포커스 (Focus) 및 정렬 제어를 정확하게 수행할 수 있습니다. 이것은 고급 온도 균일성과 제어를 제공하는 6 구역 플랫폼과 연결되어 있습니다. TEL CL1300 은 탁월한 감도와 해상도로, 0.1 미크론 이하의 기능을 감지하고 처리할 수 있습니다. 이 장치의 고급 UV 노출 헤드를 사용하여 사용자는 0.5 미크론 이상의 라인 에지/너비 제어를 달성 할 수 있습니다. 또한 오프 축 방향 (Off-axis-directional) 및 오프 축 (off-axis-axial) 노출과 같은 다양한 고급 방향 노출 기술을 사용합니다. 이 기계는 효율적인 생산 프로세스를 위해 설계되었습니다. 3 개의 다른 소스에서 동시에 포토리스 스트 롤 스톡 (photoresist roll stock) 을 공급할 수 있으며, 각 소스는 자체 노출 설정을 가질 수 있습니다. 또한, 온도 분노, 화학적 오염, 전력 고장 등 다양한 경보를 통해 신속하고 간편한 문제 해결이 가능합니다. TOKYO ELECTRON CL1300도 화학 관리를 위해 제작되었습니다. 여기에는 정확한 투약 기능, 종합적인 레시피 관리 툴이 포함되어 있으며, 사용자는 담요 저항, 노출 저항, 개발 후 저항을 직관적으로 관리 할 수 있습니다. 더욱이, 화학 "탱크 '는 압력, 화학 농도, 온도 와 같은 여러 가지 옵션 을 통해 감시 할 수 있다. 마지막으로, 에셋은 AOIS (Advanced Optical Inspection Model) 와 같이 통합 로더, 분류기, 트레이와 같은 다양한 옵션과 자동 품질 검사 도구를 제공합니다. 결론적으로 CL1300 은 강력하고 비용 효율적인 포토레시스트 (photoresist) 장비로, 다양한 애플리케이션에 다양한 기능과 기능을 제공합니다.
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