판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT #9290877

TEL/TOKYO ELECTRON ACT (TEACT) 포토 esist 장비는 정밀도가 높은 반도체 웨이퍼를 패턴화하도록 설계된 최첨단 기술입니다. TEACT 시스템은 독점적 인 deep ultraviolet (DUV) 광원을 사용하여 photoresist-coated 웨이퍼를 조사하여 패턴 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 장치는 ACU (Automated Controller), PG (Pattern Generator), RES (Radiant Energy Source) 및 PS (Power Supply) 를 포함한 여러 주요 구성 요소로 구성됩니다. ACU는 TEACT 머신의 제어 센터로, 사용자가 웨이퍼 패턴화 프로세스의 각 측면을 제어 할 수 있습니다. ACU 인터페이스는 PG 와 상호 작용하여 웨이퍼에 적용되는 패턴을 생성하고 제어합니다. PG (Format Patterning) 에는 벡터 형식을 사용하여 정밀도 (Precision) 로 복잡한 패턴을 적용할 수 있습니다. RES는 TEACT 도구에 사용되는 DUV 광원입니다. 이 최첨단 광원은 193nm에서 248nm 사이의 짧은 파장 방사선을 생성하여 매우 정확한 패턴화를 허용합니다. 소스 (source) 를 자동화하여 웨이퍼에 완벽하게 패턴화된 레이어를 대규모로 생산할 수 있습니다. PS 는 RES 에 전력 을 공급 해 주며, "웨이퍼 '의 포토레지스트' 층 에 적용 되는" 에너지 '의 양 을 조절 한다. 이것 은 "포토레지스트 '가 균등 하고 일관성 있는 양 의 빛 에 노출 되도록 돕는다. TEACT 자산은 사용자에게 최첨단 정밀 패턴화 기능을 제공합니다. 자동화된 제어를 통해 웨이퍼 (wafer) 에 완벽하게 구조화 된 레이어를 생산할 수 있으므로 반도체 웨이퍼 패턴화에 이상적인 솔루션입니다. 모델의 차세대 DUV RES (DUV RES) 는 photoresist 레이어의 노출을 촉진하는 반면, 사용자 정의 가능한 ACU-PG 인터페이스를 사용하면 패턴화 프로세스의 모든 측면을 제어 할 수 있습니다. TEL ACT 장비를 사용하면 응용 프로그램에 관계없이 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다.