판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9401926
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ID: 9401926
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
(3) Coater / (3) Developer system, 8"
AC Power box
Wafer flow: Left to right
Controller
THC: ESA-4-D-02
IFB
Coater unit:
2-1, 2-2: (8) Dispense nozzles
2-3: (4) Dispense nozzles
RRC Pump
Developer unit:
E3 Nozzle
TCU:
(7) CLLO Power sources
(8) Pumps
Chemical box 1:
PR Bottle
(8) RRC Pumps
Chemical box 2:
HMDS
Thinner: (2) Tanks auto supply
DEV: (2) Tanks auto supply
Missing parts:
3-1, 3-3: Spin motor driver
IRA Main Y driver, Z driver
WEE Lamp house
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 연구 및 개발 응용 분야를 위해 특별히 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 기판에 photoresist가 있음을 감지하기위한 이중 센서 기술 (dual sensor technology) 을 갖추고 있습니다. 그것 은 또한 "기판 '내 의" 패터닝' 과정 에서 불규칙성 을 탐지 하는 데 사용 될 수 있으며, 그것 이 연구 에 이상적 인 선택 이다. 이 장치의 듀얼 센서는 훌륭한 해상도를 제공하며, 다양한 연구 및 생산 응용 프로그램을위한 패턴 (pattern) 이 가능한 0.1 ~ 7.0 미크론의 초고해상도를 제공합니다. 뛰어난 정밀도와 함께 TEL ACT 8에는 온도 및 전압 조절기가 장착되어 있어 정확한 결과를 보장합니다. 센서는 또한 기판 전체에 걸쳐 다른 깊이에서 사진 저항을 감지 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 또한 전기, 기계 및 광학 테스트 매개변수를 포함한 다양한 소프트웨어 도구를 제공합니다. 필름 증착, 플라즈마 에칭 및 기타 여러 프로세스를 시뮬레이션 할 수 있습니다. 또한, 기계는 향후 참조를 위해 다른 프로세스 매개변수를 저장할 수있는 능력을 자랑하며, 따라서 연구자들은 작업을 쉽게 반복하거나, 프로세스를 수정할 수 있습니다. TEL ACT 8은 기본 기능 외에도 전원 모니터, 자동 두께 컨트롤러, 진공실 (vacuum chamber) 과 같은 다양한 통합 제어 주변 장치를 갖추고 있습니다. 이 기능은 연구 개발 전문가들에 의해이 도구를 매우 중요한 자산으로 만듭니다. 전반적으로 ACT 8은 연구 및 개발 응용 프로그램을 염두에두고 설계된 신뢰할 수 있고 정확한 포토리스 (photoresist) 자산입니다. 이중 센서 기술을 통해 사용자는 패턴 처리 시 불규칙성을 감지하고 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 저장할 수 있습니다. 일련의 통합 제어 주변 장치를 사용하여 TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8을 사용하면 중요한 데이터를 저장하면서 다양한 프로세스를 시뮬레이션하고 제어 할 수 있습니다. 이것은 연구 및 생산 응용 분야에 귀중한 도구입니다.
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