판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9357239
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ID: 9357239
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Coater / Developer system, 8"
Main frame with controller
Carrier station:
Type: Normal uni-cassette
(4) Cassette stages
Pickup cassette
Coater:
(3) Dispense nozzle with temperature controller for etcher
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath for etch unit
Rinse:
(2) Buffer tanks: 3 Liter
PR Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater:
(2) Dispense nozzle with temperature controller for etcher
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse:
(2) Buffer tanks: 3 Liters
PR Suck-back valve
Direct drain
Developer:
SH Nozzle
(2) Stream nozzles for DI rinse
(2) Buffer tanks: 3 Liters
Temperature controller
Direct drain
(3) Adhesions:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
(15) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(14) Chill Plates (CPL)
TCP Module
(3) TRS Modules
Wafer Edge Exposure (WEE) module:
Wafer type: Notch, DUV
Notch
DUV
Chemical cabinet 1: Solvent and developer
Chemical cabinet 2: PR and HMDS
(2) TEL OEM Temperature controllers
AC Power box
Interface
Missing parts:
2-1 COT Spin I/O Board
2-4 COT EBR Nozzle tip
2-4 COT EBR Nozzle valve
2-1 Nozzle changer motor
3-2 Shutter cylinder
(2) PRB YASUKAWA Spin motor drivers
2-0 PRA Z-Driver
3-0 PRA Z-Driver
Temperature and humidity controller (For 4 chu)
Hard Disk Drive (HDD)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 최첨단 포토 esist 장비입니다. 포토리스토그래피 (photolithography) 공정에서 업계 최고의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. Photolithography는 많은 전자 부품 제조에서 중요한 단계입니다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 시스템은 고정밀 마스크 정렬기를 사용하여 패턴을 포토 esist 물질로 정확하게 전달합니다. "패턴 '은 속도 와 정확도 가 높은 기판 재료 로 전달 된다. TOKYO ELECTRON ACT 8에는 강력한 스테퍼 모터와 독점 제어 장치가 있습니다. 이렇게 하면, 마스크를 기판으로 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 마스크 정렬기의 해상도는 25 나노 미터이며, 이는 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 기계 는 또한 "마스크 '의" 이미지' 처리 를 할 수 있으며 "패턴 '의 복잡성 에 따라 각 층 의 광량 을 조절 할 수 있다. ACT 8에는 강력한 청소실 환경도 있습니다. 공기는 여과되고 매우 높은 정도로 제어됩니다. 이 로 인해, 가장 연약 하고 초소형 성분 까지도 어떤 오염 에도 노출 되지 않게 된다. 청정실 은 또한 습도 를 조절 함 으로써 도움 이 되는데, 이 습도 는 광전물질 의 노출 속도 를 조절 하는 데 중요 하다. 그렇다. TOKYO ELECTRON ACT 8에는 전체 도구를 제어하는 데 사용되는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 소프트웨어는 광범위한 패턴으로 빛 (light) 노출을 제어 할 수 있습니다. 기판 과 "마스크 '의 온도 를 조절 할 수 도 있는데, 이것 은" 포토레지스트' 의 수축 을 조절 하는 데 중요 하다. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 매우 유연하고 정확한 포토 esist 자산입니다. 반복성이 높은 고품질 부품을 생산할 수 있습니다. 강력한 모터 (motor) 및 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 통해 처리량이 높은 정밀 부품을 생성할 수 있습니다. 정교한 환경 제어는 가장 섬세한 구성 요소조차도 오염되지 않도록 합니다. 이 모델은 소규모 구성 요소의 대용량 생산을 위해 설계되었습니다.
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