판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9315802

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 정확한 나노미터 스케일 리소그래피 및 에칭을 제공하는 차세대 포토 esist 장비입니다. TEL 및 파트너 TOKYO ELECTRON이 설계 및 제조 한 제품군의 일부입니다. TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL ACT 8은 리소그래피 프로세스 제어에서 전례없는 수준의 정확성, 속도 및 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 고성능 디지털 미디어 컨트롤러로 구동되는 주 리소그래피 (lithography) 장치로 구성됩니다. 리소그래피 장치는 유리, 폴리 이미드, 산화 실리카 및 기타 금속을 포함한 다양한 물질을 처리 할 수 있습니다. 또한 플라즈마 에칭 (plasma etching), 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching), 이온 빔 에칭 (ion-beam etching) 과 같이 높은 정밀도가 필요한 중요한 에칭 프로세스를 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계의 주요 구성 요소에는 디지털 미디어 컨트롤러 (digital media controller), 센서, 노즐 및 다양한 공정 기기가 포함됩니다. 디지털 미디어 컨트롤러는 노출 시간, 초점 거리, 초점 지점 등 공구 매개변수를 제어하는 역할을 합니다. "센서 '는" 에셋' 이 원하는 노출 조건 을 유지 할 수 있도록 재료 의 표면 지형 을 측정 한다. "노즐 '은 소량 의" 에칭' 이나 포토레지스트 '물질 을 물질 표면 에 방출 하는 데 사용 되어 원하는 공정 요구 조건 을 충족 시킨다. 이 모델에는 다양한 에너지 원과 프로세스 옵션도 포함되어 있습니다. 이를 통해 나노 미터 수준의 정밀도로 구조와 패턴을 형성 할 수 있습니다. 이 장비는 패턴 발전기, 레이저 스캔 시스템, 다이렉트 레이저 쓰기 (direct laser writing), 전자 빔 리소그래피 (electron beam lithography) 등 다양한 에너지 원 및 프로세스 옵션을 사용합니다. 또한, 시스템에는 샘플 표면의 균일 한 조명을 제공하기 위해 통합 헬륨-제논 조명 장치 (integrated helium-xenon illumination unit) 가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 고급 정밀 석판화 및 에칭 기계입니다. 마이크로 일렉트로닉스, 광전자, 의료 기기 포장 및 MEMS 디자인과 같은 프로세스에 적합합니다. 뛰어난 정확도, 속도 및 유연성으로 나노 스케일 구조를 구성 할 수 있습니다. 이 도구의 종합적인 툴셋과 안정적인 성능을 통해 고밀도 리소그래피 (lithography) 및 에칭 (etching) 어플리케이션을 위한 탁월한 선택이 가능합니다.