판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9312222
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ID: 9312222
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Coater / Developer system, 8"
Main frame with system controller
Carrier station:
Type: Normal uni-cassette
4-Cassette stages
Pick-up cassette
Coater unit:
(3) Dispense nozzles
With temperature controlled line
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) Buffer tank systems
P.R Such-back valve type: Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater unit:
(2) Dispense nozzles
With temperature controlled line
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
P.R Such-back valve type: Suck-back valve
Direct drain
Developer unit:
SH Nozzle
(2) SH Nozzles for DI Rinse
2-Points for back side rinse
Developer system: 3 Liters (2) buffer tank systems
Developer temperature control system
Direct drain
(3) Adhesion units:
Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor system
Interface
(15) Low temp hot plates
(14) Chill plates (CPL)
(3) TRS Module
TCP Module
Wafer Edge Exposure (WEE) Module
Wafer type: Notch, DUV Type
(2) Chemical cabinets:
Chemical cabinet 1: Solvent and developer
Chemical cabinet 2: HMDS and PR
(2) Temperature Control Units (TCU)
AC Power box
Missing parts:
2-1 COT Spin I/O Board
2-4 COT EBR Nozzle tip
2-4 COT EBR Nozzle valve
2-1 Nozzle changer motor
3-2 Shutter cylinder
(2) PRB YASUKAWA Spin motor drivers
2-0 PRA Z-Driver
3-0 PRA Z-Driver
Temperature and humidity controller (For 4 chu)
Hard Disk Drive (HDD)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 Canon Electronics와 제휴하여 TEL이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 단일 빔 또는 DUV (Dual-beam Deep-자외선) 레이저 리소그래피 시스템의 고성능 기능과 고급 저항 기술을 결합한 차세대 기술입니다. 이 장치의 핵심 부품은 심자외선 레이저, 저항 프로세서, 미세 정렬 단계입니다. 심자외선 레이저 (deep-ultraviolet laser) 는 파장 248nm에서 빔을 방출하여 인쇄 된 웨이퍼에 매우 작은 기능을 생성하는 데 이상적입니다. 또한 최대 8 개의 레이어를 동시에 처리하여 생산성을 크게 높일 수 있습니다. 통합 저항 프로세서 (Integrated Resists Processor) 및 미세 정렬 단계 (Fine-Alignment Stage) 는 전체 사진 분석 프로세스를 정확하게 제어합니다. 또한 TEL ACT 8은 생산 주기 시간을 최소화하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8에는 여러 가지 고급 기능도 포함되어 있습니다. 단일 패스에서 12nm (small) 의 해상도를 달성하여 매우 복잡한 회로 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기계는 동적 초점 기능 (dynamic focus capability) 도 포함하며, 노출 과정에서 잘못된 정렬을 수정할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8에는 정교한 레시피 관리 도구, 직관적 인 사용자 인터페이스 및 정확한 균일성 제어가 있습니다. ACT 8은 신뢰성이 높으며 최대 100 개의 웨이퍼에 대한 원하는 해상도를 유지할 수 있습니다. 도쿄 전자 (TOKYO ELECTRON) 는 가장 극단적 인 상황에서도 뛰어난 성능을 보장하기 위해 집중적 인 신뢰성 테스트를 수행했습니다. 이 자산은 세계 최고의 반도체 (반도체) 기업의 요구 사항을 충족시켜 전 세계 많은 기업들이 채택해 왔습니다. 전자제품· 자동차부품· 의료기기에 이르기까지 다양한 산업에서 포토레시스트 (photoresist) 모델을 사용할 수 있다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 은 탁월한 정밀도를 제공하며 마이크로 LED, 마이크로 레지스터와 같이 매우 세밀한 디테일을 요구하는 작업에 적합합니다. 이 장비는 또한 빠르고, 효율적이며, 안정적이며, 대용량 제품 실행에 이상적입니다. 요구 사항에 관계없이 ACT 8 은 다운타임을 최소화하면서 최상의 품질의 결과를 제공합니다. 정밀도 (precision), 효율성 (efficiency), 안정성 (안정성) 을 결합하면 최고 수준의 성능을 요구하는 모든 애플리케이션에 완벽한 선택이 가능합니다.
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