판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9312218
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ID: 9312218
Coater / Developer system, 8"
System controller
(2) Chemical cabinets:
Chemical cabinet 1: HMDS, Solvent and developer
Chemical cabinet 2: PR
(2) SMC Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
Carrier station:
Type: Uni-cassette
4-Cassette stages, 1 pick-up
Coater unit:
(4) Dispense nozzles with temperature control line
Mini RRC pump
Rinse nozzle: EBR, Back rinse, solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck back valve type: Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater unit:
(3) Dispense nozzles with temperature control line
Mini RRC pump
Rinse nozzle: EBR, Back rinse, solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck back valve type: Suck-back valve
Direct drain
Developer unit:
H Nozzle
(2) Stream nozzles for D.I W rinse
2 Points for back side rinse
Developer system: 3 Liters (2) buffer tank systems
Developer temperature control system
Direct drain
(2) Adhesion units:
Closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Interface
High temperature hot plate
(14) Low temp hot plates
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling Hot Plate (CHP) process station
(3) TRS Modules
TCP Module
HCP Module
Wafer Edge Exposure (WEE) Module
Wafer type: Notch, DUV type
Missing parts:
CSB motor I/O Board 2-0 PRA θ Motor driver
CSB Add on board
3-4 Panasonic motor
3-1 Out cup cylinder
3-1 Arm 1
3-1 Arm 2
PRB2 Chemical IO board
Temperature and humidity controller ((2) Cups)
2-0 PRA X Motor driver
4-0 IRA Z Motor drive
4-0 IRA UPS
WEE Theta driver
4-0 IRA Motor IO board
4-0 IRA IFB Add on board
Hard Disk Drive (HDD)
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 반도체 장비를 전문으로하는 일본 회사 인 TEL이 개발 한 업계 최고의 포토 esist 장비입니다. 고급 (advanced) 기술을 사용하여 개발된 이 시스템은 사용자에게 웨이퍼 처리를 위한 최첨단 자동 장치 (automated unit) 를 제공합니다. 이 기계는 정확하고 정확한 결과로 유명합니다. 높은 정확도를 유지하면서 기질을 빛에 노출시켜 우월한 에칭 (etching) 프로세스를 제공합니다. 이 도구는 빛을 필터링하여 이미지를 안정화하고, 왜곡을 줄이고, 선 너비의 정밀도를 향상시킵니다. 고속 프로세스 제어를 통해 TEL ACT 8은 시간당 300 개 이상의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 내장형 소프트웨어 자산을 활용하여 프로세스 상황을 모니터링하고, 비정상을 파악하고, 변화하는 프로세스 요구 사항에 신속하게 대응할 수 있습니다 (영문). 이 모델에는 실시간 데이터 캡처 (real-time data capture) 와 같은 지능형 (intelligent) 기능이 장착되어 있어 프로세스 데이터를 캡처하여 프로세스 추세를 분석하고 운영 환경을 보다 효율적으로 관리할 수 있습니다. "웨이퍼 '를 손상 시키지 않고" 클리닝' 용액 을 가지고 포토레시스트 를 관통 하는 "클리닝 트랙 '청소 장치 가 있다. 이 장비는 라인 너비의 변형을 최소화하고 공격적인 강하 (desumming) 의 필요성을 최소화함으로써 고품질의 저비용 (low-cost) 결과를 낳습니다. 또한 박막 예금과 같은 민감한 응용 프로그램을 지원합니다. 또한, 자동화된 테스트/데이터 분석 기능을 통해 사용자는 문제를 진단하고 다운타임을 최소화하고, 운영 시간을 단축하고, 효율성을 높일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 저렴한 가격대에서 업계 최고의 포토 esist 유닛을 제공합니다. 정밀성 (Precision) 과 자동화 (Automation) 를 결합하여 다양한 애플리케이션에 안정적인 결과를 제공합니다. 다재다능성 (Versility) 과 유연성 (Flexibility) 을 통해 사용자는 특정 요구를 충족하는 최고 품질의 포토레시스트를 생산하기 위해 기계를 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다.
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