판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9311769

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TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
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ID: 9311769
(2) Coater / (2) Developer system (4) Uni-cassette stations (2) Chill plate units (2) Adhesion units (9) LHP Transition unit Transition chill plate unit Type 4 ACT controller Number of resist nozzle: (3) Nozzles per COT unit: 2-1, 2-2 COT Nozzle 1: HV Pump (Iwaki HV-115-1) 2-1, 2-2 COT Nozzle 2: RRC Pump (F-T 100-3) 2-1, 2-2 COT Nozzle 3: No pump, no LE tank Developer nozzle Stream nozzle Components: (3) INR-24-264A Circulating pumps (3) INR-244-216C Circulating pump power supplies (2) INR-244-217B CPL Power supply modules Controller: INR-244-218F.
TEL (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8) 은 도쿄 전자 (TOKYO ELECTRON) 에서 개발 한 고급 포토리스 장비로 반도체, 고밀도 집적회로 및 기타 전자 부품 제조에 사용되는 고급 재료의 효율적이고 정확하고 안정적인 처리를 가능하게합니다. 이 시스템은 리소그래피, 자외선 노출, 에칭 등 다양한 기술을 사용합니다. TEL ACT 8 기계는 사용 가능한 가장 정교한 포토 esist 시스템 중 하나입니다. 완벽한 자동, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 쉽고 효율적인 운영 및 설치 기능을 제공합니다. 이 장치에는 광범위한 액세서리 (accessory) 가 포함되어 있어 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 매우 정확한 제어 밸브, 정교한 펄스 제어 회로, 전동 샘플 홀더, 고전압 생성기, 쿼츠 램프 삽입 및 제거 기계 및 정적 방지 제어 장치가 포함됩니다. Lithography는 자외선을 사용하여 photoresist 코팅을 반도체 웨이퍼에 이미지화하는 데 사용됩니다. 광도 와 입사각 을 조작 함 으로써 "포토레시스트 '를 정확 하게 만들어" 웨이퍼' 에 원하는 모양 과 "패턴 '을 형성 할 수 있다. 도쿄 전자 법 (TOKYO ELECTRON ACT) 8에는 고급 석판화 기술이 적용되어 빛을 정확하게 제어하고 배치하여 고정밀 패턴을 제공합니다. 이 도구는 또한 플로우 스루 (flow-through) 프로세스를 통합하여 웨이퍼에서 포토 esist를 빠르게 에칭 할 수 있습니다. 초고속과 고압력 (high-pressure ability) 을 갖춘 기계는 웨이퍼 (wafer) 표면에서 사용하지 않는 포토레지스트를 빠르게 탈환할 수 있습니다. 이 프로세스 단계는 회로의 정확하고 안정적인 제작에 필수적입니다. TEL ACT 8 자산에는 자외선 노출 섹션도 포함됩니다. 이 기계에는 쿼츠 램프 소스 (quartz lamp source) 와 초고속 데이터 획득 모델 (data acquisition model) 이 장착되어 있어 웨이퍼에 UV 표시등을 빠르게 노출 할 수 있습니다. 고효율 데이터 획득 장비 (Data Acquisition Equipment) 는 추가 처리를 위해 광원의 출력을 정확하게 측정하고 저장할 수 있습니다. 마지막으로, 기계는 반 정적 시스템 (Anti-Static System) 과 직원들이 유해입자에 노출되지 않도록 돕는 주택을 포함하여 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 정전기 방지 장치 (Anti-Static Unit) 는 정전기의 잠재력을 줄이기 위해 설계되었으며, 이는 포토 esist의 효율성을 손상시키거나 줄일 수 있습니다. 결론적으로 ACT 8은 사용 가능한 가장 진보 된 포토 esist 시스템 중 하나입니다. 석판화, 자외선 노출, 에칭 (etching) 및 안전 (safety) 기능의 조합으로 고급 집적 회로 제작을위한 귀중한 도구입니다. 이 기계는 반도체, 고밀도 집적회로 및 기타 전자 부품의 정확하고 안정적인 생산을 보장합니다.
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