판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9296412

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9296412
System.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 반도체 산업에서 웨이퍼 생산을 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 (Photoresist) 는 포토에 민감한 재료로, 웨이퍼 표면에 패턴을 생성하여 회로 및 기타 컴포넌트를 생성하는 데 사용됩니다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 시스템은 다양한 고급 기능을 갖추고 있어 포토 esist 처리에 매우 높은 정밀도를 제공 할 수 있습니다. 코어에서, TOKYO ELECTRON ACT 8은 웨이퍼 표면에 빛을 집중시키는 광학 영상 장치 (optical imaging unit) 를 사용한 후, 여러 독점 기술을 사용하여 광 소제를 적용하고 정확하게 개발합니다. 이러한 기술에는 미세한 패턴을 만들기 위한 레이저 마킹, 포토레지스트를 고르게 적용하기위한 전자 건, 포토레지스트 수준과 두께를 정확하게 제어하기위한 고정밀 모션 컨트롤 기술 (high-precision motion control technology) 이 포함됩니다. 또한 ACT 8은 조건 적응적이며, 가능한 가장 높은 정확도를 제공하기 위해 노출 매개 변수 변경을 자동으로 조정합니다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 은 호환되는 리소그래피 도구와 함께 사용되어 더 높은 수준의 정확도와 성능을 얻을 수도 있습니다. 이러 한 방법 으로 사용 되면, 매우 정확 하고 일관성 있는 "패턴 '을" 웨이퍼' 에 빠르고 쉽게 적용 할 수 있다. 이 기계는 또한 높은 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 으로 알려져 있으며, 하나의 웨이퍼 (wafer) 에서 다음 웨이퍼 (next wafer) 로 적용되는 포토레스 패턴 (photoresist pattern) 이 정확히 동일해질 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 매우 유연하므로 사용자가 설정을 빠르고 쉽게 수정할 수 있습니다. 공구는 언제든지 다양한 프로세스 매개변수 (예: 노출 시간, 빔 너비 변경) 를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 전체적으로 ACT 8은 뛰어난 정확성, 유연성 및 성능을 제공하는 강력한 포토레시스트 자산입니다. "웨이퍼 '에 매우 정확 하고 반복 할 수 있는" 패턴' 을 신속 하고 쉽게 만들 수 있게 함 으로써, 그것 은 반도체 산업 에서 매우 가치 있는 도구 이다.
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