판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294543

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 정밀도, 속도 및 규모로 다양한 웨이퍼를 처리 할 수있는 Art photoresist 장비의 상태입니다. "웨이퍼 '를 광파 의 정밀 한 무늬 에 노출 시킴 으로써" 시스템' 이 작용 한다. 이 패턴은 패턴화 프로세스 (patterning process) 의 균일성을 보장하기 위해 정확한 노출 수준을 생성하는 사용자정의 (user-defined) 프로그램에 의해 결정됩니다. 이 장치에는 이전 시스템의 2 배 속도로 작동하는 초고속 스캐닝 머신 (Ultrafast Scanning Machine) 이 있어 처리 시간이 단축됩니다. 또한 여러 웨이퍼를 한 번에 일괄 처리, 시간 절약, 처리량 증가 등의 기능을 제공합니다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 에 의해 활용 된 포토 esist 과정은 감광 필름을 웨이퍼에 적용함으로써 작동한다. 빛에 노출되면 photomasks의 생산이 패턴 작성 과정을 시작합니다. "포토마스크 '를 굽고 치료 한 후 에, 반응성 이 있는" 이온 에치' 공정 을 사용 하여 "웨이퍼 '에 원하는" 패턴' 을 형성 한다. 노출, 베이킹 및 에칭의 조합을 활용하여 TOKYO ELECTRON ACT 8 도구는 정밀도로 패턴을 일관되게 생성 할 수 있습니다. 에셋은 또한 레이어의 오버레이 검증 모델 (layer overlay verification model) 을 특징으로하며, 이를 통해 관리자는 각 레이어의 정확도를 시각적으로 검사하고 측정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고급 여과 (advanced filtration) 및 청결 전략으로 인해 입자 수준을 줄일 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 모서리 배치 정밀도 (edge placement accuracy) 와 단계 높이 제어 (step height control) 를 갖추고 있어 패턴화의 정확한 반복성을 가능하게 합니다. 전반적으로 ACT 8 photoresist process unit은 웨이퍼를 패턴화하고 회로 보드를 만드는 데 매우 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다. 이 기계의 고속 (high speed) 과 배치 처리 (batch processing) 기능은 정확도와 결합되어 시장에서 가장 잘 사용 가능한 포토리스 (photoresist) 시스템 중 하나입니다.