판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9289040

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 광전자, 데이터 저장, 통신 및 기타 응용 프로그램의 고해상도 기능에 대해 정확하고 정확한 처리를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 제품은 사진 리토그래피 기술과 액티브 레이저 제어 시스템 (Active Laser Control System) 을 결합하여 탁월한 성능과 처리량을 제공합니다. 이 장치는 정밀도 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat), 정렬, 이미지 확대/축소 (image zooming) 및 기타 응용 프로그램과 같은 높은 정확도와 저렴한 광 프로세스를 가능하게 합니다. 이 기계에는 재료 처리, 컨트롤러, 광학 및 레이저 소스를위한 하위 시스템이 포함되어 있습니다. 재료 처리 서브시스템 (material handling subsyem) 은 표본을 입력에서 출력 트레이로 이동하고 컨트롤러는 레이저 소스를 조정하고 광학을 조작하는 데 사용됩니다. 광학 하위 시스템에는 노출 용량을 조정하는 데 사용할 수있는 필드 렌즈, 처짐 거울, 초점 렌즈, 1 차 회절 격자, 중성 밀도 필터가 포함됩니다. 레이저 소스에는 일반적으로 아르곤 불소 엑시머 레이저, 자외선 다이오드 레이저 또는 블루 다이오드 레이저가 포함됩니다. TEL ACT 8의 처리량은 시간당 최대 3,000 개이며, 최소 필드 크기는 5 미크론입니다. 10 ~ 500 × 의 이미지 확대/축소 기능과 함께 ± 5 미크론의 반복 가능성을 갖춘 고속 정렬 정확도를 제공합니다. 또한 하이브리드 정렬 도구를 사용하면 수동/자동 정렬을 모두 수행할 수 있습니다. 이 자산은 두껍고 얇은 필름 기판, 유리 (glass) 와 석영 (quartz) 을 포함한 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 이 모델은 쉽고 직관적인 작동을 위해 설계되었습니다. 단계별 지침에 따라 프로세스 제어를 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 지원합니다. 또한 GUI 는 정렬 이득, 프로세스 상태, 장비 설정에 대한 정보를 제공합니다. 또한, 시스템에 샘플 위치를 모니터링하는 센서 피드백 (feedback) 장치가 포함되어 있어 최적의 성능을 보장합니다. 이 기계는 자가 진단 (self-diagnosis), 자가 수정 (self-correction) 과 같은 자동 기능을 통해 강력하고 안정적으로 설계되었습니다. 또한 오류 로깅 및 보고와 같은 기능도 포함되어 있습니다. 이 도구는 공장 보정되었으며 드리프트가 적고 반복 가능성이 좋습니다. 다양한 온도 및 습도 수준에서 작동 할 수 있습니다. 이 소형 "디자인 '은 여분의 공기 흐름 과 공간 이 필요 하지 않으며, 여러 가지 재료 처리" 시스템' 과 통합 될 수 있다.