판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9285378

ID: 9285378
빈티지: 2004
(4) Coater / (3) Developer system NLD Open cassette 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 고급 광전자 장치 제조에 사용되는 고급 광전자 장비입니다. 광전자는 광전자 장치 (예: 집적 회로, 기타 전자 부품) 의 부품 생산에 사용되는 광민감성 물질이다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 시스템은 화학 공정을 사용하여 빛에 민감한 저항재 층을 집적 회로에 부착시킨다. 이렇게 하면 전기 연결 (electrical connection) 및 기타 기능을 생성하는 데 사용되는 장치 (device) 의 표면에 패턴을 생성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8 장치는 고성능 광전자 구성 요소에 필요한 향상된 패턴 채우기 (pattern fill) 및 미세 선 (fine line) 정의를 통해 매우 정확하고 정확하며 반복 가능한 저항 기능 패턴을 제공합니다. 이 기계는 고해상도 광학 석판화 공정 (optical lithography process) 에서도 뛰어난 패턴화 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이는 광섬유 통신 시스템에 사용되는 것과 같은 고급 집적 회로 (advanced integrated circuit) 부품의 제작에 적합합니다. TEL ACT 8 photoresist 도구는 고급 자동 노출 제어를 사용하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이렇게 하면 여러 형상과 하위 미크론 피쳐 크기에 걸쳐 높은 정밀도와 균일성이 보장됩니다. 이 자산은 다른 감광적 시스템 (photorealistic systems) 이 생산하는 것과 비교할 때 고밀도 피쳐를 생성하는 데 사용될 수도 있습니다. ACT 8 은 설치 공간이 작고 설치 공간이 최소화되어, 공간이 제한된 운영 환경에 적합합니다. 첨단 옵토일렉트로닉 (optoelectronic) 부품에 점점 더 중요한 다양한 유형의 로우-k (low-k) 장치를 포함하여 다양한 크기와 재료를 지원합니다. 이 모델은 또한 고속 패턴 (high-speed patterning) 모드를 지원하는데, 이는 표면 실장 기술 기판에 높은 수준의 노출을 적용할 때 필수적입니다. 요약하자면, ACT 8 포토레시스트 (photoresist) 장비는 광전자 장치용 전자 부품을 생산할 때 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 설계된 고성능, 자동 시스템입니다. 이 장치는 광범위한 재료 유형 (material type) 과 피쳐 크기 (feature size) 를 지원하며 정확하고 균일한 패턴화를 위해 고급 자동 노출 제어 (automated exposure control) 를 지원합니다. 이러한 기능은 광섬유 기술 및 기타 광전자 어플리케이션을위한 고급, 고성능 집적회로 (integrated circuit) 를 생산하는 데 이상적입니다.
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