판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9283788

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 반도체 산업의 사진 해설을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 내성 있는 개발 과정 을 이용 하여 "포토마스크 '에서" 실리콘 웨이퍼' 로 "패턴 '을 옮기는" 웨이퍼' 스테퍼 시스템 이다. 이 장치는 photoresist 코팅 된 웨이퍼를 포토 마스크 (photomask) 를 통해 빛에 노출시켜 웨이퍼에 이미지를 생성함으로써 작동합니다. 그런 다음 "웨이퍼 '에서 저항성 발달층 으로" 이미지' 가 옮겨지며, 이것 은 광저항 층 에서 "패턴 '을 형성 하는 데 사용 된다. 이 기계는 열적으로 분리 된 인클로저에 들어 있으며, 2 개의 난방 시스템, 온도 조절 웨이퍼 냉각 도구, 맞춤형 모터 제어 에셋이 장착되어 있습니다. 반도체 웨이퍼를 정확하게 패턴화하기 위해 고해상도 8 인치 Koehler 고해상도 자동 초점 모델을 사용합니다. 장비는 직경 최대 8 인치, 최대 4 미크론 이미징 해상도까지 실리콘 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TEL ACT 8은 해상도 개선, 자동 노출 수준, 다양한 이미지 소스 (Image Source) 등 다양한 작동 모드를 활용하므로 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 다양한 화학 물질, 코팅 프로세스, 보호 마스크와 호환됩니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 직관적이고 사용하기 쉬운 소프트웨어 솔루션을 통해 제어됩니다. 이 시스템은 또한 다양한 그래픽 도구와 대화식 (interactive) 기능을 제공하여 장치 작동을 촉진하고 결과를 개선합니다. 빠른 설치 및 작동을 위해 설계되었으며, 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드 모두에서 실행할 수 있습니다. ACT 8은 또한 노출 맵, 레이어 별 웨이퍼 매핑, 자동 레이어 배치 등 다양한 추적 옵션을 제공합니다. 자동 버퍼링 (Automated Buffering) 으로 설계되어 속도를 최소화하면서 고속 포토 esist 개발을 제공합니다. 자동 로더를 사용하면 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수도 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ACT 8은 고속 웨이퍼 처리를 위해 설계된 강력하고 다재다능한 사진 촬영기입니다. 반도체 업계의 고급 리소그래피 (lithography) 요구사항을 위한 이상적인 솔루션을 제공함으로써, 속도를 최소화하면서 매우 정밀한 패턴을 만들 수 있습니다.