판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9281476

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9281476
(2) Coater / (3) Developer system.
텔/도쿄 전자 ACT 8 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8) 은 전자 산업에서 사진 촬영 및 직접 영상 과정에서 광범위하게 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 완벽하게 자동화된 프로그래밍 가능한 장치 (programmable unit) 로, 사용자에게 다양한 기판을 처리할 수 있는 기능을 제공합니다. TEL ACT 8은 진공 처리 실, 패턴 인식 스테이션 및 프로세스 제어 센터로 구성됩니다. 진공처리실 은 "음극 '과" 양극' 의 두 부분 으로 이루어져 있으며, 이것 은 기판 "홀더 '에 연결 되어 있다. 진공 처리 챔버 (vacuum processing chamber) 는 광석기 공정에 일관되고 정확한 챔버 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계 는 화학적 으로 내성 이 있는 "알루미늄 '실" 라이너' 로 설계 되어 그 환경 에 존재 할 수 있는 다른 화학 물질 로부터의 산화 혹은 오염 으로부터 기질 을 보호 한다. 패턴 인식 스테이션은 도구에 로드되는 프로그래밍된 CAD 파일과 함께 작동합니다. 그런 다음, 에셋은 CAD 설계를 기반으로 photolithography 프로세스 중에 사용되는 패턴 라이브러리를 생성합니다. '패턴 인식 소프트웨어 (pattern recognition software)' 를 사용하여 마스터 패턴의 미세한 변형을 감지할 수 있으며, 이를 통해 원본 패턴과 최종 제품 간에 조정이 가능합니다. 공정 제어 센터 (process control center) 는 사용자에게 화학 목욕 제어 및 기판 이동 제어 수단을 제공합니다. 제어 센터 (Control Center) 는 원하는 화학 에칭 또는 증착 과정에 따라 화학적 농도와 온도를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면, 사용자는 챔버 내에서 제작할 기판의 정확한 물리적 특성 (physical properties) 을 제어할 수 있습니다. 이 모델은 유리, 실리콘, 실리카, 석영과 같은 기판을 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 그 장비 는 극히 정확 하여, 다른 기계 들 이 번식 하지 못하는 극히 정확 한 증착 과정 을 이용 할 수 있다. 그렇다. 이 시스템은 사용자 친화적 (User Friendly) 으로 설계되었으며, 전문가와 캐주얼 사용자 모두 다양한 기판의 프로세스 설정을 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 결론적으로, 도쿄 전자 ACT 8 (TOKYO ELECTRON ACT 8) 은 전자 산업의 광석기 및 직접 영상 프로세스에 사용하도록 설계된 첨단 첨단 고기술 포토 esist 단위입니다. 이 기계는 다양한 기판 (substrate) 을 처리할 수 있는 안정적이고 정확한 환경을 제공하며, 최종 제품의 정확한 물리적 특성을 완벽하게 제어할 수 있습니다 (영문). 이 도구는 정확성과 일관성을 향상시키고, 사용자 친화적이며, 전자 산업 (Electronics Industry) 에 이상적인 자산입니다.
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