판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9269550

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 최적의 필름 형성 및 패턴 성능 용으로 설계된 포토 esist 장비입니다. 첨단 R&D 및 대용량 생산 반도체 소자 제작을 위해 특별히 개발 된 고급 광석판 시스템입니다. 이 장치는 개선 된 필름 재료 증착 공정을 특징으로하며, 다양한 필름 재료 (film material) 에서 얇고 두꺼운 필름을 생성하는 기능을 제공합니다. 이 필름은 기계의 고급 이미징 도구 (advanced imaging tool) 를 사용하여 빠르고 효율적으로 패턴화할 수 있습니다. 자산은 매우 정확하므로 VLSI 회로와 같은 구조의 정확한 패턴화 (patterning) 와 고속 접촉이 가능합니다. TEL ACT 8에는 500 미크론 해상도의 스테퍼 형 이미징 모델이 있습니다. 초고해상도 자동 포커스 (auto focus) 및 미세 정렬 (fine alignment) 기능이 포함되어 있으며, 양성 포토리스트와 음성 포토리스트를 모두 처리 할 수 있습니다. 고급 사진 리토 그래피 장비에는 강력한 SLM (Spatial Light Modulator) 및 레이저 정렬 장치가 포함되어 있어 복잡한 패턴에 적합합니다. 이 장비는 빠르고 정확한 인쇄 헤드로 고속 패턴 생성 프로세스를 제공합니다. 또한 전용 소프트웨어를 사용하여 패턴 크기, 모양, 종횡비를 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 열 화학적으로 재배 된 물질을 포함한 다양한 필름의 습하고 건조한 (wet and dry) 처리에 유용합니다. 이 장치에는 제어 증착 및 처리를 위해 진공 및 온도 시스템도 장착되어 있습니다. 이 기술 조합은 미세한 석판화 마스크 (lithography mask) 와 정확한 패턴화에 대한 최고 수준의 정확도를 제공합니다. 도쿄 일렉트로닉 액트 8 (TOKYO ELECTRON ACT 8) 은 고성능 생산 및 연구 시설의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 광석기 기계입니다. 그것의 다양성과 정밀성은 정확한 석판화 작업을위한 완벽한 도구이며, 모든 반도체 장치 제작 요구 사항에 대한 신뢰할 수있는 결과입니다.