판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9262481

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공하는 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 광학, 정밀 모션 제어, 고급 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 화학적으로 증폭된 저항 처리 일관성을 보장합니다. TEL ACT 8의 광학은 photolithography 이미징에 필요한 정확성과 해상도를 제공합니다. 광학 장치에는 고출력 수은 아크 램프, 광학 콘덴서, 조명기, 웨이퍼 이미징을위한 광학 마스크 투영 도구, 레지 오겐 구동 초점 메커니즘을 갖춘 프로세서 장치 (초점 감지, 측정 및 제어 가능) 가 포함됩니다. 광학은 최대 정확도를 위해 3D 이미지를 취하도록 구성됩니다. 도쿄 일렉트릭 액트 8 (TOKYO ELECTRON ACT 8) 의 섀시에는 기계의 정확한 위치와 웨이퍼 노출을위한 고정밀 로봇 암의 움직임을 구동하는 선외 모터 모터 컨트롤 에셋이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 이미징 (Imaging) 및 처리 단계 (Processing Steps) 동안 마스크의 적절한 장력을 보장하는 텐셔닝 장치도 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8의 소프트웨어는 처리 중인 웨이퍼의 일부에 대해 균일 한 증착 및 노출 매개 변수를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 이 소프트웨어에는 여러 프로세스 매개변수 모니터링 기능 (monitoring function function) 과 진단/피드백 메커니즘 (diagnostic/feedback mechanism) 이 포함되어 있어 매개변수를 조정하여 일관된 성능을 유지할 수 있습니다. ACT 8 photoresist 장비는 시장에서 가장 정확하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 반도체, 마이크로시스템 제작, 기타 포토 esist 관련 프로세스에 적합합니다. 이 장치에서 제공하는 정확성 및 반복성 (repeatability) 은 매우 정확한 이미지 전송과 최고 품질의 디바이스 제작을 가능하게 합니다.