판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9253993

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 집적 회로 및 반도체 제작에서 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 전기 회로를 생성하기 위해 웨이퍼에 패턴을 만드는 데 사용됩니다. 이 시스템은 산 촉매 열 산화 (ACT) 를 기반으로하며, 광범위한 치수로 웨이퍼를 패턴화 할 수 있습니다. TEL ACT 8 장치는 0.2 micro-m까지 하위 미크론 기능을 생성 할 수있는 고해상도 이미징 머신을 제공합니다. 광학 소스 확대 기술 (Optical Source Excargement Technology) 을 활용하여 패턴 프로세스의 정확성과 해상도를 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 또한 다중 레이어 처리를 사용하여 복잡한 패턴을 만듭니다. 여러 개의 저항층 (layer of resist) 이 순서대로 적용되어 세로로 분리된 저항층 (resist layer) 을 더 세밀하게 생성할 수 있습니다. 이 도구는 뛰어난 패턴 팩처 (pattern facture) 를 제공하도록 설계되어 높은 생산량을 제공합니다. ADVACT 5 마스크 정렬기는 생산 규모 리소그래피의 고속 및 처리량 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 건조 또는 습식 기질에서 작동 할 수 있으며, 매우 정확한 광영상 과정을 가능하게합니다. 또한 자동 웨이퍼 처리 에셋과 UV 체포 메커니즘이 특징이며, 이는 패턴 이미징의 결함을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 모델에는 다양한 조명 소스를 지원하는 멀티 소스 램프 베이스 (multi-source lamp base) 도 포함되어 있습니다. 램프 베이스는 고대비 (High Contrast) 와 고해상도 (High Resolution) 를 모두 제공하므로 고품질 이미지가 일관되게 제공됩니다. 간단히 말해서, TEL ACT 8은 반도체 및 집적 회로 제작을위한 고품질 이미지 및 패턴 처리 프로세스를 제공하는 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 다중 레이어 처리, 고해상도 이미징 시스템, 자동 웨이퍼 처리 및 멀티 소스 램프 베이스가 특징입니다. 이 시스템은 처리 속도를 높이고 패턴 이미징 (Pattern Imaging) 수율을 개선하도록 설계되었습니다.