판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251356

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 전자 장치 처리를 위해 설계된 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 게이트 전극, 상호 연결 패턴, 컨택트 플러그 (Contact Plug) 형태 등의 장치에 대규모와 미세 라인 리소그래피에 적합합니다. 시스템은 광원, 노출 챔버 및 노출 제어 장치로 구성됩니다. 광원은 고출력 울트라 바이올렛 엑시머 레이저로, 깊은 UV 범위에서 안정적인 조명을 제공합니다. 즉, 선폭과 높이가 균일한 최적화 (optimized) 노출 프로파일을 제공하여 패턴을 정확하게 인쇄할 수 있습니다. 또한, 노출 챔버에는 일관된 패턴화를 위해 고정밀 광학 머신이 있습니다. 두 가지 "렌즈 '즉" 콘덴서' 와 투영 "렌즈 '의 결합 은 광사 에 높은 광선 의 조도 를 집중 시킨다. 노출 제어 도구 (Exposure Control Tool) 는 완전히 자동화된 프로세스로, 패턴의 용량 및 소형화를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 수동 작업보다 고품질 패턴 구성과 뛰어난 성능이 보장됩니다. 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 및 프로그래밍 가능한 노출 매개 변수 관리와 통합됩니다. 이 기능을 사용하면 배치 처리를 수행할 수 있으며, 노출 시간과 비용을 더욱 줄일 수 있습니다. 전반적으로 TEL ACT 8은 신뢰할 수 있고 작동하기 쉬운 포토 esist 자산입니다. 그것의 특징과 성능은 높은 정밀 패턴 형성과 최소화 된 결함을 허용합니다. 이 모델은 반도체 장치 제작, 박막 장치 처리, 인쇄 회로 기판 제조 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다.