판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9238389

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 TEL Corporation of TOKYO ELECTRON Ltd가 설계하고 인수 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 장치 생산에 사용되는 광학 기반의 자동 사진 분석 시스템입니다. 이 장치는 현대 반도체 제조에 사용되는 리소그래피 마스크 (lithography mask) 의 정확하고 고해상도 제작을 가능하게 하기 위해 설계되었습니다. TEL ACT 8은 조명원, 렌즈 머신, 레티클 정렬 도구 및 노출 된 포토 esist 자산을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 모델이 사용하는 조명원은 다양한 파장 (일반적으로 350 ~ 400 nm 범위 내) 에서 작동하는 레이저입니다. "레이저 '빛 은 매우 정밀 한" 렌즈' 장비 를 통하여 인도 되며 광학 "에너지 '는 최대 200mW/cm2 이다. 레티클 정렬 시스템 (reticle alignment system) 은 포토 리토 그래피 프로세스에 사용되는 레티클 패턴을 웨이퍼에 정확하게 정렬하는 데 사용됩니다. 노출 된 포토 esist 유닛에는 동적 스캐너 (dynamic scanner) 가 포함되어 있으며, 이는 포토 esist를 웨이퍼 표면에 적용하는 데 사용됩니다. 이것 은 "웨이퍼 '표면 으로 배달 되는 빛 의 꾸준 한 흐름 으로 이루어진다. "웨이퍼 '에 전달되는 총 전력 은 원하는 해상도 에 따라 정확 하게 조정 할 수 있다. 그 다음 광전물질 을 "레이저 '빛 에 노출 시키고, 그 결과 광전물질 이 빛 에 노출 된 부면 에서 굳어지거나 부드럽게 되는 화학적 반응 을 유도 한다. 그런 다음, 이 에칭 된 패턴을 사용하여 후속 프로세스에서 웨이퍼를 패턴화합니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 알래스카 시리즈 (Alaskan Series) 로 알려진 정밀 정렬 기계와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이 조합은 최대 0.03 미크론의 정확도를 제공하며, 0.07 미크론 정도의 작은 기능을 생성 할 수 있습니다. 이 도구에는 실제 제작 프로세스 전에 웨이퍼 디자인을 테스트하는 데 사용할 수있는 사내 시뮬레이터 (in-house simulator) 프로그램도 있습니다. 결론적으로, TEL ACT 8은 현대 반도체 생산을위한 장치 제작을위한 자동화되고, 매우 정확한 사진 분석 자산입니다. 레이저 모델을 활용하여 해상도 (Resolution) 와 전원 (Power) 모두에 대한 다양한 설정을 제공합니다. 또한, Alaskan Series 정렬 장비 및 사내 시뮬레이터 프로그램은 사용자에게 매우 정확하고 정밀하게 복잡한 디자인을 만들 수 있는 유연성을 제공합니다.