판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9236697

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9236697
(3) Coater / (3) Developer system (2) Block tracks.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 웨이퍼의 전자 부품 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. photolithography 및 기타 관련 제작 프로세스에 사용됩니다. 이 시스템은 패턴을 웨이퍼 (wafer) 로 옮기기 위해 얇은 층의 감광 표면 코팅 (photosensitive surface coating) 을 적용하고 제거하기 위해 설계되었습니다. 텔 액트 8 (TEL ACT 8) 은 마스크를 통과할 때 웨이퍼에 이미지를 생성 할 광원을 통해 웨이퍼를 조명함으로써 작동합니다. 그런 다음 이 이미지를 웨이퍼에 적용한 감광 레이어로 전송합니다. 이 과정에서 발생하는 전기 전하 (electrical charge) 는 레이어의 특정 영역만이 빛에 반응 할 수 있도록 합니다. 이것은 미리 정의 된 패턴으로 빛에 반응 할 포토레스 (photoresist) 재료를 사용하여 수행됩니다. 그런 다음 다양한 개발자, 에치 (etch) 및 제거 단계를 통해 재료를 추가로 처리하여 원하는 패턴을 웨이퍼에 노출시킵니다. 도쿄 전자 ACT 8 장치는 매우 효율적이고 신뢰할 수 있습니다. 다양한 패턴 피치를 생성 할 수 있습니다. 즉, 요구 사항에 따라 구조, 지름, 모양이 다른 패턴을 만들 수 있습니다. 기판을 기존의 photoresist 시스템보다 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8 기계는 또한 높은 수율과 반복 가능한 품질 결과를 보장합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 여러 상태 (state) 의 기술 기능을 갖춘 사용자 친화적으로 설계되었습니다. '오염 방지 (Anti-contamination)' 모듈과 같은 정교한 '클린 룸 (cleanroom)' 기능은 운영 영역을 위한 고급 수준의 보호 및 청결성을 제공합니다. 이 도구는 또한 다양한 컨트롤 (control) 을 통해 사용자가 노출 수준 (level of exposure) 과 증착 속도 (speed of deposition) 를 조정하고 저항의 두께와 반응성을 제어 할 수 있습니다. 또한 ACT 8 자산은 원하는 패턴에 대해 높은 수준의 사용자 정의 기능을 제공합니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 속도와 정확도를 높인 다양한 패턴을 생성 할 수있는 고급 포토 esist 모델입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 정교한 기능으로 인해 "웨이퍼 '처리를 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 장비가 됩니다.
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