판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235975

ID: 9235975
(2) Coater / (2) Developer system Single block track, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 포토 esist 장비는 반도체 처리에 중요한 도구입니다. 이것 은 "패턴 '을 반도체" 웨이퍼' 표면 에 에칭 하여 전자 회로 와 부품 을 구성 하는 전자 통로, 구조, 장치 를 형성 하는 데 사용 된다. TEL ACT 8 photoresist 시스템은 웨이퍼 표면에 적용되는 빛 민감성 물질 인 photoresist를 사용합니다. 빛에 노출되면, 포토 esist는 화학 성분을 바꾸고 웨이퍼 (wafer) 표면에 투영 된 패턴의 마이너스 이미지가됩니다. TOKYO ELECTRON ACT 8 장치를 사용하면 응용 photoresist의 패턴 정의, 모양 및 크기를 제어 할 수 있습니다. 빛의 노출 시간 (exposure time) 과 강도 (intensity) 는 포토레지스트의 특정 화학 성분에 맞게 설정될 수 있으며, 이를 통해 개발자는 선 너비, 해상도, 짝수 깊이와 같은 기능을 정확하게 제어 할 수 있습니다. ACT 8 기계에는 또한 포토 esist의 부적절한 노출으로부터 보호하는 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 알고리즘 (Algorithm) 은 노출 기간을 제어하여 올바른 결과를 보장하는 동안 잘못된 노출을 방지하는 데 사용됩니다. 공구에는 유지 보수 중 또는 저항재 (resist materials) 를 변경하는 동안 빛을 차단하는 안전 셔터 (safety shutter) 가 장착되어 있어, 운영자가 웨이퍼를 손상시키지 않도록 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 photoresist 자산에서 발견되는 기능의 조합은 photolithography 개발을위한 이상적인 도구입니다. 피쳐를 제어하는 능력과 안전 측정 (Safety Measure) 은 결과가 안정적이고 일관되게 유지되도록 도와줍니다. 또한, 8 세대 모델은 유연성과 높은 수준의 자동화를 추가하여 더 빠르고 효율적인 photolithography 프로세스를 제공합니다.
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