판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235231
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텔/도쿄 일렉트로닉 액트 8 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8) 은 고급 마이크로 전자 공정 응용을위한 사진 해설법 및 사진 해금 서비스를 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고도로 정확한 광학 이미징 정렬 기술, 고급 이미지 처리 기술, 정밀한 자동화 제어 기술 (Automation Control Technology) 을 결합하여 사진 사진 촬영 프로세스를 극도로 정밀하게 최적화합니다. 고급 광전자 영상 장치 (advanced optoelectronic imaging unit) 는 기질의 노출을 포토 esist 필름에 정렬하고 모니터링하는 데 사용됩니다. 기계는 기판을 검사하여 정렬을 확인하고, 노출될 영역을 결정합니다. 광학 이미징 공정은 레이저 간섭 (laser interference) 또는 이미징 센서를 사용하여 기판 및 포토 esist 필름을 정확하게 정렬합니다. 온보드 이미징 도구 (Onboard Imaging Tool) 를 사용하면 Photolithographic 노출이 조정되어 프로세스 변형이나 기판 유형에 관계없이 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있습니다. 이 자산은 photohardening 화학 물질에 최소한의 노출로 고해상도 이미지를 생산하도록 설계되었습니다. 이를 위해 모델은 고효율, 저소음 CCD (Charge-Coupled Device) 이미징 기술을 채택하여 명암비가 높은 수많은 이미지를 신속하게 얻을 수 있습니다. CCD 이미징 기술은 또한 소음을 줄이고 효율적인 노출 제어를 허용합니다. 포토 esist 장비는 또한 광범위한 자동화 및 프로세스 제어 기능을 포함합니다. 포토레시스트 (photoresist) 레시피를 쉽게 커스터마이징하고 포토레시스트 (photoresist) 노출 관리에서 높은 수준의 유연성을 제공하는 많은 레시피 데이터베이스를 갖추고 있습니다. 자동화된 시스템에는 사진술사 (photoresist) 소재의 오류를 감지하고 사진술사 (photolithography) 오류로 인한 문제를 해결할 수 있는 자가 진단 (self-diagnostic) 기능도 포함되어 있습니다. "포토레지스트 '장치 의 절대적 정확성 을 보장 하기 위하여, 기계 는" 포토레지스트' 필름 의 사양 과 질 의 수준 을 측정 할 수 있는 자동화 된 기판 검사 도구 를 갖추고 있다. 에셋은 또한 포토레스 필름 (photoresist film) 의 불규칙성을 자동으로 감지하고 교정 동작을 제공하여 모든 프로세스에서 일관된 품질을 제공합니다. 요약하자면, TEL ACT 8 모델은 고정밀 광학 정렬, 고급 CCD 이미징 및 향상된 프로세스 제어 기능을 통합하여 마이크로 일렉트로닉 공정 응용 프로그램에 대한 매우 정확한 광석학 및 photohardening 서비스를 제공하는 고급 photoresist 장비입니다. 시스템의 정확성, 효율성, 적응성을 통해 최첨단 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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