판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9213368

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9213368
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 반도체 장치 제조 응용 분야에 적합한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술과 신뢰성, 사용 편의성을 결합하여 프로세스 일관성을 보장하고 수율을 향상시킵니다. 이 단위는 기질로 시작되며, 그 후 감광성 저항성 물질 (photoresist) 로 코팅됩니다. 일단 코팅되면, 저항은 노출 된 영역을 중합시키는 자외선에 노출된다. 이 노출 된 면적은 후속 화학 에칭 (etching) 과정에 무감각하여 노출되지 않은 영역을 제거합니다. TEL ACT 8은 7 축 모션 컨트롤 머신을 사용하여 노출 용량 속도를 정확하게 복용하고 제어합니다. 이를 통해 고해상도 패턴화와 프로세스 수익률이 향상됩니다. 전체 툴을 다양한 디바이스 제조 프로세스에 통합할 수 있습니다. 이러한 통합의 일환으로, 제어 소프트웨어는 운영자 인터페이스 (operator interface) 를 제공하여 운영 및 레시피 생성을 쉽고 안정적으로 수행할 수 있습니다. 에셋에는 고급 이미징 모델도 있습니다. 이를 통해 에치 프로파일 (etch profile) 과 프로세스에서 데이터의 후속 분석을 정확하게 확인할 수 있습니다. 이 정교한 이미징 (Imaging) 장비는 저항을 제어 (control) 방식으로 제거하여 후속 장치 제조 공정을 정확하게 제어 할 수 있도록 합니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 신뢰할 수있는 포토 esist 처리를 수행하는 데 필요한 모든 기능을 제공합니다. 여기에는 자동 웨이퍼 처리 전달, 노출 용량 제어, 패턴, 에칭 및 이미지가 포함됩니다. 이를 통해 효과적인 프로세스 제어가 이루어지며, 프로세스 일관성을 보장하여 디바이스 수율을 향상시킵니다. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 포토 esist 프로세스를위한 완전한 솔루션 시스템입니다. 이 고급 (advanced) 장치는 일관되고 효율적인 프로세스를 보장하기 위해 최신 기술과 안정적인 운영을 제공합니다. 이 시스템은 장치 제조업체와 사용자 모두에게 상당한 이점을 제공합니다.
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